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1. (WO2018216632) 圧電式センサおよびその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/216632    International Application No.:    PCT/JP2018/019374
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 19 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01L 1/16
G01L 9/08
H01L 41/047
H01L 41/083
H01L 41/113
H01L 41/297
H01L 41/43
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: TOYOTA, Daisuke
豊田 大介
NAGATA, Masaru
永田 優
MIURA, Hiroyuki
三浦 浩之
KIKUCHI, Michimasa
菊池 通真
Title: 圧電式センサおよびその製造方法
Abstract:
センサ1は、順に積層されている第1電極、第1圧電体、第2電極、第2圧電体および第3電極を有している。第1圧電体および第2圧電体は、同一の材料の単結晶からなり、かつ積層方向と結晶軸とが成す角度が同一である。圧電体を構成する単結晶は、積層方向に直交する面内の線膨張係数に関して異方性を有している。第1電極~第3電極の厚さをt1~t3とし、第2電極および第3電極の線膨張係数をα2およびα3とし、単結晶の、積層方向に直交する面内における、線膨張係数の最大値および最小値をαmaxおよびαminとしたときに、α2>αmax>α3>αmin、かつt2>t3>t1である。