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1. WO2018216631 - 成膜方法及び成膜装置

公開番号 WO/2018/216631
公開日 29.11.2018
国際出願番号 PCT/JP2018/019373
国際出願日 18.05.2018
IPC
B05D 1/04 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
D液体または他の流動性材料を表面に適用する方法一般
1液体または他の流動性材料を適用する方法
02噴霧によって行なわれるもの
04静電界の使用を含むもの
B05B 5/025 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
B霧化装置;噴霧装置;ノズル
5静電噴霧装置;電気的に噴霧を荷電させる手段を有する噴霧装置;他の電気的手段により液体または他の流動性材料を噴霧する装置
025放出装置,例.静電噴霧ガン
B05D 1/32 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
D液体または他の流動性材料を表面に適用する方法一般
1液体または他の流動性材料を適用する方法
32表面のある部分を被覆されないように保護する手段を用いるもの,例.ステンシル,レジストを用いるもの
H01L 51/50 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H05B 33/10 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
33エレクトロルミネッセンス光源
10エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
CPC
B05B 12/20
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
12Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
16for controlling the spray area
20Masking elements, i.e. elements defining uncoated areas on an object to be coated
B05B 17/0646
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
17Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
04operating with special methods
06using ultrasonic ; or other kinds of; vibrations
0607generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
0638spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
0646Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
B05B 5/025
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
5Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
025Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
B05B 5/0255
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
5Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
025Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
0255spraying and depositing by electrostatic forces only
B05D 1/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
1Processes for applying liquids or other fluent materials
02performed by spraying
B05D 1/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
1Processes for applying liquids or other fluent materials
02performed by spraying
04involving the use of an electrostatic field
出願人
  • 株式会社オプトニクス精密 OPTNICS PRECISION CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 絹田 精鎮 KINUTA, Seichin
代理人
  • 中島 淳 NAKAJIMA, Jun
  • 加藤 和詳 KATO, Kazuyoshi
  • 福田 浩志 FUKUDA, Koji
優先権情報
2017-10206823.05.2017JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法及び成膜装置
要約
(EN)
In the present invention, a substrate is provided at a bottom section of a tank, a mask is provided on the substrate, with an insulator interposed therebetween, electrically-charged microparticles that serve as a film-forming material are sprayed into the space in the tank, the substrate is conferred a reverse polarity potential from the electrically-charged microparticles, and the mask is conferred the same polarity potential as the electrically-charged microparticles, thereby making the microparticles deposit on the substrate and form a film.
(FR)
Selon la présente invention, un substrat est disposé au niveau d’une section inférieure d’une cuve, un masque est disposé sur le substrat, avec un isolant intercalé entre eux, des microparticules électriquement chargées qui servent de matériau de formation de film sont pulvérisées dans l’espace dans la cuve, il est conféré au substrat un potentiel de polarité inverse à partir des microparticules électriquement chargées, et il est conféré au masque le même potentiel de polarité que les microparticules électriquement chargées, effectuant ainsi le dépôt des microparticules sur le substrat et formant un film.
(JA)
槽の下部に基板を設けるとともにこの基板の上に絶縁体を介してマスクを設け、槽の空間内に成膜材料となる帯電した微粒子を噴霧するとともに基板には帯電した微粒子と逆極性の電位を与え、マスクには帯電した微粒子と同極性の電位を与えることにより、基板の上に微粒子を堆積させて成膜を形成するようにしたものである。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報