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1. (WO2018216615) 浸炭処理装置及び浸炭処理方法

Pub. No.:    WO/2018/216615    International Application No.:    PCT/JP2018/019303
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 19 01:59:59 CEST 2018
IPC: C23C 8/20
Applicants: CHUGAI RO CO., LTD.
中外炉工業株式会社
Inventors: IWAHORI Ryota
岩堀 綾太
YOSHIMOTO Seiji
吉本 誠司
FUJINO Tomohiko
藤野 智彦
Title: 浸炭処理装置及び浸炭処理方法
Abstract:
被処理物Wを浸炭処理させる浸炭処理室11と、浸炭処理室11内に浸炭ガスGaを導入する浸炭ガス導入部12と、浸炭処理室11内に不活性ガスGbを導入する不活性ガス導入部13と、浸炭処理室11内におけるガスを排気させるガス排気部14とを備えた浸炭処理装置において、浸炭ガス導入部12と不活性ガス導入部13とをガス排気部14から離れた位置に設け、浸炭ガス導入部12から浸炭ガスGaが導入された浸炭処理室11内に不活性ガス導入部13から不活性ガスGbを導入させた。