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1. (WO2018216600) 加工対象物切断方法

Pub. No.:    WO/2018/216600    International Application No.:    PCT/JP2018/019171
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/301
B23K 26/16
B23K 26/53
Applicants: KYORITSU CHEMICAL & CO., LTD.
協立化学産業株式会社
HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: KUCHIKI Mikiharu
朽木 幹春
KINDA Hidefumi
金田 秀文
KURITA Daisuke
栗田 大亮
SAKAMOTO Takeshi
坂本 剛志
OGIWARA Takafumi
荻原 孝文
KONDOH Yuta
近藤 裕太
UCHIYAMA Naoki
内山 直己
Title: 加工対象物切断方法
Abstract:
加工対象物切断方法は、加工対象物の表面又は裏面に拡張可能シートを貼り付ける第1工程と、第1工程の後、切断予定ラインに沿って加工対象物にレーザ光を照射して改質領域を形成し、拡張可能シートを拡張することにより、加工対象物の少なくとも一部を複数のチップに分割すると共に、複数のチップ間に存在し且つ加工対象物の表面及び裏面と交差する側面に至る隙間を形成する第2工程と、第2工程の後、加工対象物における側面を含む外縁部から隙間に樹脂を充填する第3工程と、第3工程の後、樹脂を硬化させて収縮させる第4工程と、第4工程の後、拡張可能シート上からチップを取り出す第5工程と、を含む。