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1. (WO2018216593) 研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/216593    International Application No.:    PCT/JP2018/019103
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: B24B 37/26
B24B 37/00
B24B 37/12
B24B 37/24
H01L 21/304
Applicants: FUJIBO HOLDINGS, INC.
富士紡ホールディングス株式会社
Inventors: NAKASE, Keisuke
中瀬 恵介
Title: 研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法
Abstract:
基材と、該基材上に配された樹脂部と、を備える研磨パッドであって、該樹脂部は、単独で又は前記基材と共に凹凸パターンを構成し、前記凹凸パターンは、研磨面を有する複数の凸部が配列されたパターンであり、前記凸部に研磨圧力500g/cm2を掛けたときの前記研磨面の面積の総和が、前記基材表面の単位面積(1cm2)当たりにおいて、0.05~0.8cm2であり、凸部の斜辺と底辺の成す角θが、5~60°である、研磨パッド。