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1. (WO2018216527) フィルタ制御式導出方法、光計測システム、ファブリペロー干渉フィルタの制御方法、及び、フィルタ制御プログラム
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国際公開番号: WO/2018/216527 国際出願番号: PCT/JP2018/018556
国際公開日: 29.11.2018 国際出願日: 14.05.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,G01J 3/26 (2006.01) ,G02B 5/28 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
12
スペクトルの発生;モノクロメータ
26
多重反射によるもの,例.ファブリーペロー干渉計,可変干渉フィルター
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
20
フィルター
28
干渉フィルター
出願人:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
発明者:
藁科 禎久 WARASHINA Yoshihisa; JP
田畑 桂 TABATA Kei; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-10174123.05.2017JP
発明の名称: (EN) FILTER CONTROLLING EXPRESSION DERIVATION METHOD, LIGHT MEASUREMENT SYSTEM, CONTROL METHOD FOR FABRY-PEROT INTERFERENCE FILTER, AND FILTER CONTROL PROGRAM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉRIVATION D'EXPRESSION DE COMMANDE DE FILTRE, SYSTÈME DE MESURE DE LUMIÈRE, PROCÉDÉ DE COMMANDE POUR FILTRE D'INTERFÉRENCE DE FABRY-PEROT ET PROGRAMME DE COMMANDE DE FILTRE
(JA) フィルタ制御式導出方法、光計測システム、ファブリペロー干渉フィルタの制御方法、及び、フィルタ制御プログラム
要約:
(EN) This filter controlling expression derivation method comprises: a preparation step for preparing a Fabry-Perot interference filter in which a distance (x) between a fixed mirror part (35) and a movable mirror part (36) is controlled by achieving a balance between electrostatic force and elastic force; a first derivation step for deriving a relational expression between a deflection amount (m) of the movable mirror part (36) and an elastic index (k) of the movable mirror part by performing a predetermined measurement, the elastic index (k) being described as a second- or higher-degree polynomial with the deflection amount (m) as a variable; and a second derivation step for deriving, as a filter controlling expression, a relational expression between the transmission wavelength and voltage (V) of light transmitted through the Fabry-Perot interference filter on the basis of the relational expression between the deflection amount (m) and the elastic index (k) and a relational expression between electrostatic force and elastic force, wherein in the first derivation step, the transmission wavelength of the light transmitted through the Fabry-Perot interference filter is measured in a state where each of a plurality of voltages different from each other is applied as the voltage.
(FR) L'invention concerne un procédé de dérivation d'expression de commande de filtre comprenant : une étape de préparation pour préparer un filtre d'interférence de Fabry-Perot dans lequel une distance (x) entre une partie de miroir fixe (35) et une partie miroir mobile (36) est commandée par la réalisation d'un équilibre entre la force électrostatique et la force élastique; une première étape de dérivation pour dériver une expression relationnelle entre une quantité de déviation (m) de la partie miroir mobile (36) et un indice élastique (k) de la partie miroir mobile par réalisation d'une mesure prédéterminée, l'indice élastique (k) étant décrit en tant que polynôme de second degré ou degré supérieur avec la quantité de déviation (m) en tant que variable; et une seconde étape de dérivation pour dériver, en tant que filtre commandant l'expression, une expression relationnelle entre la longueur d'onde de transmission et la tension (V) de lumière transmise à travers le filtre d'interférence de Fabry-Perot sur la base de l'expression relationnelle entre la quantité de déviation (m) et l'indice élastique (k) et une expression relationnelle entre la force électrostatique et la force élastique, la première étape de dérivation, la longueur d'onde de transmission de la lumière transmise à travers le filtre d'interférence de Fabry-Perot est mesurée dans un état dans lequel chacune d'une pluralité de tensions différentes les unes des autres est appliquée en tant que tension.
(JA) 本発明のフィルタ制御式導出方法は、静電気力と弾性力とが釣り合うことにより、固定ミラー部(35)と可動ミラー部(36)との間の距離(x)が制御されるファブリペロー干渉フィルタを準備する準備ステップと、所定の計測を実施することにより、可動ミラー部(36)の弾性指標(k)が可動ミラー部のたわみ量(m)を変数とする2次以上の多項式として記述された、たわみ量(m)と弾性指標(k)との関係式を導出する第1導出ステップと、たわみ量(m)と弾性指標(k)との関係式、及び、静電気力と弾性力との関係式に基づいて、ファブリペロー干渉フィルタを透過する光の透過波長と電圧(V)との関係式をフィルタ制御式として導出する第2導出ステップと、を備え、第1導出ステップでは、互いに異なる複数の電圧のそれぞれを電圧として印加した状態で、ファブリペロー干渉フィルタを透過する光の透過波長を計測する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)