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1. (WO2018216410) 測定装置

Pub. No.:    WO/2018/216410    International Application No.:    PCT/JP2018/016264
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 21 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01B 11/06
G01N 21/27
G01N 21/45
Applicants: KONICA MINOLTA, INC.
コニカミノルタ株式会社
Inventors: NINOMIYA Hidetaka
二宮 英隆
NAKAMURA Yukito
中村 幸登
KAYA Takatoshi
彼谷 高敏
Title: 測定装置
Abstract:
[課題]厚膜透明媒体上の透明薄膜サンプルを高精度に直接測定する。 [解決手段]厚膜透明媒体上に配置されたサンプルを測定する測定装置であって、投光面、受光面、厚膜透明媒体、およびサンプルが厚膜透明媒体の裏面から反射するノイズ光を排除するための下記数式(α)を満足するように設定されている測定装置。 h<(L/n3)・√((2H/D2)・(2H/D2)-n3・n3+1)・・数式(α) (数式(α)において、hは前記受光面から前記サンプルまでの距離、Lは前記投光面と前記受光面の間隔の1/2、n3は前記厚膜透明媒体の屈折率、Hは前記厚膜透明媒体の厚さ、D2は前記受光面の口径を表す。)。