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1. (WO2018216277) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

Pub. No.:    WO/2018/216277    International Application No.:    PCT/JP2018/005536
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Feb 17 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 21/956
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: HONDA Toshifumi
本田 敏文
MATSUMOTO Shunichi
松本 俊一
MAKUUCHI Masami
幕内 雅巳
URANO Yuta
浦野 雄太
OKA Keiko
岡 恵子
Title: 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
Abstract:
光源から射出された光を試料の検査対象領域に照明する照明部と、前記検査対象領域から発生する複数の方向の散乱光を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部により変換された前記電気信号を処理して前記試料の欠陥を検出する信号処理部と、を有し、前記検出部は、開口を分割して複数の像を前記光電変換部上に形成する結像部を有し、前記信号処理部は、前記結像した複数の像に対応する電気信号を合成して前記試料の欠陥を検出する。