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1. (WO2018216274) レーザ発振装置およびレーザ加工装置

Pub. No.:    WO/2018/216274    International Application No.:    PCT/JP2018/005429
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Feb 17 00:59:59 CET 2018
IPC: H01S 5/024
H01S 5/40
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: MOCHIYAMA Tomohiro
持山 智浩
RYUDO Makoto
龍堂 誠
INOUE Keita
井上 恵太
Title: レーザ発振装置およびレーザ加工装置
Abstract:
複数のレーザモジュール(10,11)と、レーザモジュール(10,11)から出力された光ビームを合成するビーム合波器と、レーザモジュール(10,11)へ給電する電源と、を備えたレーザ発振装置(1)であって、レーザモジュールは、複数のレーザダイオード(40)と、レーザダイオード(40)を冷却する冷却板(41)と、冷却板へ冷却媒体を供給する配管と、配管を流れる冷却媒体の圧力を検出する圧力センサ(27)及び流量を検出する流量センサ(28)と、圧力センサ(27)及び流量センサ(28)の値に基づいて冷却媒体を所定の圧力及び流量に調整する調整機構(25)と、を備えている。