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1. (WO2018216273) MEMS型プローブ、及び、これを使用した電気検査用装置
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国際公開番号: WO/2018/216273 国際出願番号: PCT/JP2018/005387
国際公開日: 29.11.2018 国際出願日: 16.02.2018
IPC:
G01R 1/067 (2006.01) ,G01R 1/073 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
出願人:
山一電機株式会社 YAMAICHI ELECTRONICS CO., LTD. [JP/JP]; 東京都大田区南蒲田2-16-2 2-16-2, Minamikamata, Ota-ku Tokyo 1448581, JP
発明者:
齋藤 朋徳 SAITO Tomonori; JP
優先権情報:
2017-10278324.05.2017JP
発明の名称: (EN) MEMS-TYPE PROBE AND ELECTRICAL INSPECTION DEVICE USING SAME
(FR) SONDE DE TYPE MEMS ET DISPOSITIF D'INSPECTION ÉLECTRIQUE UTILISANT CELLE-CI
(JA) MEMS型プローブ、及び、これを使用した電気検査用装置
要約:
(EN) Through the configuration of a part or the entirety of a probe from components formed using MEMS element technology, the present invention provides an MEMS-type probe that is resistant to deformation and damage and capable of keeping a low manufacturing cost and manufacturing workload while achieving a low resistance value and maintaining high conductivity. The present invention also provides an electrical inspection device using this probe. The present invention is provided with an MEMS-type plunger 402 in which at least one from among a first contact 402a, second contact 402b, and a bellows elastic body 402c for spring urging of the first contact 402a and second contact 402b in directions causing the first contact 402a and second contact 402b to separate from each other has been formed using MEMS element technology, and an MEMS-type barrel 401 that has been formed using MEMS element technology.
(FR) Grâce à la configuration d'une partie ou de la totalité d'une sonde à partir de composants formés à l'aide d'une technologie d'élément MEMS, la présente invention concerne une sonde de type MEMS qui est résistante à la déformation et aux dommages et qui est capable de maintenir un faible coût de fabrication et une faible charge de travail de fabrication tout en obtenant une valeur de résistance faible et en maintenant une conductivité élevée. La présente invention concerne également un dispositif d'inspection électrique utilisant cette sonde. La présente invention est pourvue d'un plongeur de type MEMS 402 dans lequel au moins un élément parmi un premier contact 402a, un second contact 402b, et un corps élastique de soufflet 402c pour une poussée de ressort du premier contact 402a et du second contact 402b dans des directions amenant le premier contact 402a et le second contact 402b à se séparer l'un de l'autre a été formé à l'aide d'une technologie d'élément MEMS, et un barillet de type MEMS 401 qui a été formé à l'aide d'une technologie d'élément MEMS.
(JA) 本発明は、MEMS要素技術により形成された構成要素でプローブの一部または全てを構成することにより、変形及び破損に強く、抵抗値を低くでき導電性能を高く維持したまま、製造原価及び製造工数を低廉に抑制できるMEMS型プローブ、及び、これを使用した電気検査用装置を提供する。第1接触子402a、第2接触子402b、第1接触子402aと第2接触子402bとを互いに離反する方向にバネ付勢する蛇腹弾性体402cの少なくとも1つをMEMS要素技術によって形成したMEMS型プランジャ402と、MEMS要素技術によって形成されるMEMS型バレル401とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)