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1. (WO2018216264) 共振子及び共振装置

Pub. No.:    WO/2018/216264    International Application No.:    PCT/JP2018/002628
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jan 30 00:59:59 CET 2018
IPC: H03H 9/24
G01C 19/56
H01L 41/08
H03H 9/21
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: KAWAI, Ryota
河合 良太
INOUE, Yoshihisa
井上 義久
KAAJAKARI, Ville
カーヤカリ ヴィレ
Title: 共振子及び共振装置
Abstract:
共振子において、DLDのばらつきを抑制しつつ、DLDを改善する。 各々が固定端と開放端とを有する3本以上の振動腕であって、少なくとも2本が異なる位相で面外屈曲する複数の振動腕、並びに、前記複数の振動腕の固定端に接続される前端、及び当該前端に対向する後端を有する基部、を有する振動部と、前記振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、前記振動部と前記保持部との間に設けられ、一端が前記基部に接続され、他端が前記保持部に接続された保持腕と、前記振動部に形成された複数の孔と、を備え、前記複数の孔は、それぞれ、前記基部における、前記複数の振動腕におけるいずれかの隣同士の振動腕の間の領域に形成された。