国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018216246) 配向特性測定方法、配向特性測定プログラム、及び配向特性測定装置

Pub. No.:    WO/2018/216246    International Application No.:    PCT/JP2017/042073
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Nov 23 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/21
G01N 21/64
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: HOSOKAWA Kiyotada
細川 清正
EURA Shigeru
江浦 茂
Title: 配向特性測定方法、配向特性測定プログラム、及び配向特性測定装置
Abstract:
配向特性測定システム1は、透明性基板S1上に配置された試料に向けて励起光を照射する照射光学系5と、試料から発せられる蛍光を導光する検出光学系11と、蛍光を検出する光検出器13と、試料の蛍光出射側の面の垂線と検出光学系11の光軸L2とのなす角φを変更する回転機構9と、試料の配向パラメータSを算出するコンピュータ15とを備え、コンピュータ15は、回転機構9を制御する回転機構制御部32と、光強度の角度依存性分布を規格化して光強度の角度依存性分布を取得する分布取得部34と、光強度の角度依存性分布を基に極大領域の光強度を特定する領域特定部35と、試料の膜厚及び屈折率によって決まる線形関係と極大領域の光強度とに基づいて配向パラメータSを算出するパラメータ算出部36とを有する。