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1. (WO2018216232) 隙間センサおよび隙間測定方法
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国際公開番号: WO/2018/216232 国際出願番号: PCT/JP2017/026528
国際公開日: 29.11.2018 国際出願日: 21.07.2017
IPC:
G01B 7/14 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
7
電気的または磁気的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
14
離隔対象物または離隔開口間の距離または間隙測定用
出願人:
株式会社京岡 KYOOKA CO., LTD. [JP/JP]; 東京都目黒区東山1-22-13 1-22-13, Higashiyama, Meguro-ku, Tokyo 1530043, JP
発明者:
京岡 義照 KYOOKA Yoshiteru; JP
阿部 正人 ABE Masato; JP
代理人:
三好 秀和 MIYOSHI Hidekazu; JP
高松 俊雄 TAKAMATSU Toshio; JP
優先権情報:
2017-10408326.05.2017JP
発明の名称: (EN) CLEARANCE SENSOR AND CLEARANCE MEASURING METHOD
(FR) CAPTEUR DE JEU ET PROCÉDÉ DE MESURE DE JEU
(JA) 隙間センサおよび隙間測定方法
要約:
(EN) A probe (2) is configured such that a pair of electrodes (E1, E2) are formed at corresponding positions on both surfaces of a three-layer substrate, and a guard pattern (Ge) is formed in the periphery. The guard pattern and all the electrodes are driven at the same potential on the basis of a common probe signal (Vp), and thus an electrode guard is shared. The electrostatic capacity is calculated on the basis of the clamp current of each electrode, and clearance data is obtained.
(FR) L’invention concerne une sonde (2) configurée de telle sorte qu'une paire d'électrodes (E1, E2) soient formées dans des positions correspondantes sur les deux surfaces d'un substrat à trois couches, et un motif de protection (Ge) soit formé à la périphérie. Le motif de garde et toutes les électrodes sont entraînés au même potentiel sur la base d'un signal de sonde commun (Vp), et ainsi une garde d'électrode est partagée. La capacité électrostatique est calculée sur la base du courant de serrage de chaque électrode, et des données de jeu sont obtenues.
(JA) プローブ(2)は三層基板で両面の対応する位置に電極対(E1,E2)が形成され、周辺にガードパターン(Ge)が形成される。ガードパターンおよびすべての電極は共通の探査信号(Vp)に基づいて等電位に駆動されるため電極のガードが共有化される。各電極のクランプ電流に基づいて静電容量が求められ、隙間データを取得する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)