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1. (WO2018216218) ナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液、それを含む研磨剤およびそれらの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/216218    International Application No.:    PCT/JP2017/019791
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: C09K 3/14
B24B 37/00
C01F 17/00
H01L 21/304
Applicants: JGC CATALYSTS AND CHEMICALS LTD.
日揮触媒化成株式会社
Inventors: KOMATSU, Michio
小松 通郎
NISHIDA, Hiroyasu
西田 広泰
NAKAYAMA, Kazuhiro
中山 和洋
IWASAKI, Yukihiro
岩崎 幸博
Title: ナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液、それを含む研磨剤およびそれらの製造方法
Abstract:
研磨剤として用いる工程において濃縮安定性に優れるナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液の製造方法の提供を課題とする。平均粒子径が1~500nmの微粒子を含む無機酸化物微粒子分散液と、平均気泡径が50~500nmのナノバブルを含むナノバブル水溶液とを含む溶液を、5~80℃に保持しつつ、混合する工程を備える、ナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液の製造方法によって前記課題を解決する。