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1. (WO2018216179) 温度測定方法、温度測定具、及び温度測定装置

Pub. No.:    WO/2018/216179    International Application No.:    PCT/JP2017/019604
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01K 11/00
Applicants: KANAGAWA INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
G-QUEST CO., LTD.
株式会社ジークエスト
Inventors: FUJII Hisashi
藤井寿
RACHI Takeshi
良知健
ODASHIRO Ken
小田代健
Title: 温度測定方法、温度測定具、及び温度測定装置
Abstract:
配線等の付加物が不要で搬送式や密閉式の熱処理炉に用いることができ、約200~1000℃の広い温度領域において簡便かつ正確に最高到達温度や温度分布を測定することができる、温度測定方法、温度測定具及び温度測定装置を提供する。 n型不純物又はn型及びp型不純物を含む、酸化スズ膜又は酸化インジウム膜の電気抵抗値が、受けた温度履歴に依存して不可逆的に変化する特性を利用することにより、最高到達温度を正確に推定することができる。