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1. (WO2018216129) 形状測定装置

Pub. No.:    WO/2018/216129    International Application No.:    PCT/JP2017/019339
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 11/24
B66B 7/12
G01B 11/04
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC BUILDING TECHNO-SERVICE CO., LTD.
三菱電機ビルテクノサービス株式会社
MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: FUKUNAGA, Hiroshi
福永 寛
SEKI, Tetsuro
関 哲朗
MORIKAWA, Tetsushi
森川 哲士
ONO, Yoshiko
大野 佳子
MOCHIZUKI, Keita
望月 敬太
Title: 形状測定装置
Abstract:
再帰反射体による回折光の影響を除去することができる形状測定装置を提供する。形状測定装置は、形状の測定対象の幅を超える幅を有する平行光を投じる投光器と、前記平行光の一部を反射し、前記測定対象に案内するハーフミラーと、前記測定対象に対して前記ハーフミラーの反対側に配置され、前記平行光のうちで前記測定対象に遮られずに前記測定対象の反対側に進行した光を逆方向に反射する再帰反射体と、前記ハーフミラーに対して前記再帰反射体の反対側に配置され、前記再帰反射体からの反射光が前記ハーフミラーを透過した後に当該反射光のうちで前記再帰反射体への光の入射方向と平行な光以外の光を受けずに前記再帰反射体への光の入射方向と平行な光を受ける受光器と、を備えた。