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1. (WO2018216122) 耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/216122    International Application No.:    PCT/JP2017/019290
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 5/08
G01N 21/03
G01N 21/3504
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
Inventors: HAYASHI, Nobukazu
林 信和
Title: 耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法
Abstract:
高温環境下においても安定して光を反射させることができる耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法を提供する。反射鏡140は、基材142と、反射膜144と、保護膜145とを備える。反射膜144は、白金族元素により基材142上に形成されている。保護膜145は、金属酸化物により反射膜144上に形成されている。耐熱性の高い白金族元素により基材142上に反射膜144が形成されるとともに、その反射膜144上に金属酸化膜により保護膜145が形成されるため、さらに耐熱性が高くなる。したがって、高温環境下においても反射膜144において安定して光を反射させることができる。