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1. (WO2018216074) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
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国際公開番号: WO/2018/216074 国際出願番号: PCT/JP2017/019046
国際公開日: 29.11.2018 国際出願日: 22.05.2017
IPC:
G01N 21/956 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 21/956]
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
本田 敏文 HONDA Toshifumi; JP
松本 俊一 MATSUMOTO Shunichi; JP
幕内 雅巳 MAKUUCHI Masami; JP
浦野 雄太 URANO Yuta; JP
岡 恵子 OKA Keiko; JP
代理人:
青稜特許業務法人 SEIRYO I.P.C.; 東京都中央区八丁堀二丁目24番2号 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) DEFECT INSPECTION DEVICE AND DEFECT INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUT
(JA) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
要約:
(EN) Provided is a defect inspection device comprising: an illumination unit that illuminates an area to be inspected in a sample with light emitted from a light source; a detection unit that detects scattered light generated in a plurality of directions from the area to be inspected; a photoelectric conversion unit that converts the scattered light detected by the detection unit into an electrical signal; and a signal processing unit that processes the electrical signal converted by the photoelectric conversion unit and detects defects in the sample. The detection unit comprises an image-forming section that divides an opening and forms a plurality of images on the photoelectric conversion unit. The signal processing unit combines electrical signals corresponding to the plurality of formed images and detects defects in the sample.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection de défaut comprenant : une unité d'éclairage qui éclaire une zone à inspecter dans un échantillon avec de la lumière émise par une source de lumière ; une unité de détection qui détecte la lumière diffusée générée dans une pluralité de directions à partir de la zone à inspecter ; une unité de conversion photoélectrique qui convertit la lumière diffusée détectée par l'unité de détection en un signal électrique ; et une unité de traitement de signal qui traite le signal électrique converti par l'unité de conversion photoélectrique et détecte des défauts dans l'échantillon. L'unité de détection comprend une section de formation d'image qui divise une ouverture et forme une pluralité d'images sur l'unité de conversion photoélectrique. L'unité de traitement de signal combine des signaux électriques correspondant à la pluralité d'images formées et détecte des défauts dans l'échantillon.
(JA) 光源から射出された光を試料の検査対象領域に照明する照明部と、前記検査対象領域から発生する複数の方向の散乱光を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部により変換された前記電気信号を処理して前記試料の欠陥を検出する信号処理部と、を有し、前記検出部は、開口を分割して複数の像を前記光電変換部上に形成する結像部を有し、前記信号処理部は、前記結像した複数の像に対応する電気信号を合成して前記試料の欠陥を検出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)