国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018212303) 気液反応装置、反応管、及び成膜装置

Pub. No.:    WO/2018/212303    International Application No.:    PCT/JP2018/019191
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: C23C 16/448
C01B 21/06
C01G 15/00
C23C 16/34
H01L 21/205
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY
国立大学法人東京農工大学
TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION
大陽日酸株式会社
TAIYO NIPPON SANSO CSE CORPORATION
大陽日酸CSE株式会社
Inventors: KOUKITU Akinori
纐纈 明伯
MURAKAMI, Hisashi
村上 尚
YAMAGUCHI, Akira
山口 晃
SHIINA, Kazushige
椎名 一成
SHIMAMURA, Hayato
島村 隼斗
Title: 気液反応装置、反応管、及び成膜装置
Abstract:
内部空間の下部に溶融金属を収容し、内部空間の長手方向の一端側の上部に供給されたN2ガス及び/又はArガスであるキャリアガスと原料ガスとを含む混合ガスAを長手方向に流しながら、原料ガスと溶融金属との気液反応によって生成ガスを生成し、生成ガスとキャリアガスとを含む混合ガスBを長手方向の他端側の上部から排出する気液反応チャンバーと、気液反応チャンバーの内部空間に接する天井面から内部空間内に突出し、前記長手方向の一端側の突出角度が鈍角であり、前記長手方向にガスを通過させるスリットを有する突出部材と、を備える気液反応装置。