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1. (WO2018212184) 圧電振動子の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/212184    International Application No.:    PCT/JP2018/018773
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 16 01:59:59 CEST 2018
IPC: H03H 3/04
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: TANAKA, Hirofumi
田中 博文
TAKAHASHI, Seita
高橋 星太
Title: 圧電振動子の製造方法
Abstract:
圧電振動子(1)の製造方法は、第1主面(12a)及び当該第1主面(12a)に対向する第2主面(12b)を有する圧電基板(11)と、圧電基板(11)の第1主面(12a)及び第2主面(12b)に設けられ圧電基板(11)を挟んで対向している一対の励振電極(14a,14b)と、を有する圧電振動素子(10)を準備する工程と、ベース部材(30)を準備する工程と、圧電振動素子(10)を導電性保持部材(36a,36b)によってベース部材(30)上に保持させる工程と、圧電振動素子(10)の周波数調整を行う工程とを含み、圧電振動素子(10)の周波数調整工程の前後にわたる期間のいずれかにおいて、使用時の駆動電力よりも高い電力を圧電振動素子(10)に供給して圧電振動素子(10)を過励振させる工程をさらに含み、圧電振動素子(10)を過励振させる工程は、圧電振動素子(10)に対して、累積して、310mWs以上1240mWs未満に相当するエネルギー量を供給する。