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1. (WO2018212156) 微粒子数検出器

Pub. No.:    WO/2018/212156    International Application No.:    PCT/JP2018/018691
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 16 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 15/06
G01N 27/60
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: KANNO, Keiichi
菅野 京一
OKUMURA, Hidemasa
奥村 英正
MIZUNO, Kazuyuki
水野 和幸
Title: 微粒子数検出器
Abstract:
微粒子数検出器10は、電荷発生素子と、捕集装置と、個数測定装置とを備える。電荷発生素子は、通気管12内に導入されたガス中の微粒子に放電によって発生させた電荷を付加して帯電微粒子にする。捕集装置は、電界発生部42によって発生された電界を利用して捕集電極48に帯電微粒子を捕集する。個数測定装置は、捕集電極48に捕集された帯電微粒子の数に応じて変化する捕集電極48の物理量に基づいて、帯電微粒子の数を検出する。ここで、通気管12は、セラミック材料で構成された緻密質の骨格形成部13(13a~13d)と、骨格形成部13に接触しセラミック材料よりもヤング率の低い材料で構成された緻密質の応力緩和部14(14a~14d)とを備える。