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1. (WO2018212037) 検査装置、検査方法、ライブラリ生成装置、ライブラリ生成方法、コンピュータプログラム及び記録媒体

Pub. No.:    WO/2018/212037    International Application No.:    PCT/JP2018/017918
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 10 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01B 15/02
G01B 11/06
G01N 21/3581
Applicants: PIONEER CORPORATION
パイオニア株式会社
Inventors: OCHIAI, Takanori
落合 孝典
Title: 検査装置、検査方法、ライブラリ生成装置、ライブラリ生成方法、コンピュータプログラム及び記録媒体
Abstract:
検査装置(100)は、複数の層(L)が積層された試料(S)にテラヘルツ波(THz)を照射する照射部(110)と、試料からのテラヘルツ波を検出して検出波形(DW)を取得する検出部(130)と、検出波形と推定波形(EW)を示すライブラリ(1521a)とに基づいて、複数の層の界面の位置(B)を推定する推定部(1522)とを備え、ライブラリは、試料又は試料と同一仕様のサンプル部材(SP)にテラヘルツ波を照射することで取得される検出波形であるサンプル波形に基づいて生成される。