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1. (WO2018211919) キャパシタ及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/211919    International Application No.:    PCT/JP2018/016465
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 24 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/822
H01G 4/33
H01L 27/04
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: ASHIMINE, Tomoyuki
芦峰 智行
NAKAGAWA, Hiroshi
中川 博
MURASE, Yasuhiro
村瀬 康裕
Title: キャパシタ及びその製造方法
Abstract:
キャパシタ(100)は、主面(110A)を有する基材(110)と、基材(110)の主面(110A)側に設けられた誘電体膜(130)と、誘電体膜(130)の上に設けられた電極層(140)とを備え、基材(110)は、基材(110)の主面(110A)の法線方向から平面視したとき、電極層(140)と重なる領域よりも外側の領域に形成された少なくとも1つの凹部からなる凹状構造部(112)を有し、誘電体膜(130)が凹状構造部(112)の上に設けられる。