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1. (WO2018211900) 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット

Pub. No.:    WO/2018/211900    International Application No.:    PCT/JP2018/015923
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Apr 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: C04B 35/453
C04B 35/01
C23C 14/34
H01L 21/363
Applicants: KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC.
株式会社コベルコ科研
Inventors: NISHIYAMA Kohei
西山 功兵
TAO Yuki
田尾 幸樹
Title: 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット
Abstract:
本発明は、金属元素がIn、Ga、Zn及びSnから構成され、InGaO3(ZnO)m(mは1~6の整数)で表わされる六方晶層状化合物を含む酸化物焼結体であって、前記酸化物焼結体に含まれる酸素を除く全金属元素に対する、In、Zn及びSnの含有量の割合(原子%)を、それぞれ[In]、[Zn]及び[Sn]としたとき、式(1)~(3)を満足する酸化物焼結体に関する。[Zn]≧40原子%・・・(1)、[In]≦15原子%・・・(2)、[Sn]≦4原子%・・・(3)。本発明によれば、Znが多量に添加されたIn-Ga-Zn-Sn系酸化物焼結体においても、ボンディング時の割れの発生を抑制できる。