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1. (WO2018211898) 保管システム

Pub. No.:    WO/2018/211898    International Application No.:    PCT/JP2018/015894
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Apr 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/677
B65G 1/04
Applicants: MURATA MACHINERY, LTD.
村田機械株式会社
Inventors: ITO Yasuhisa
伊藤 靖久
Title: 保管システム
Abstract:
保管システムは、第1方向に延在する複数の第1レール及び第2方向に延在する複数の第2レールが同一の水平面上に格子状に配置されることにより、1対の第1レール及び1対の第2レールによって囲まれた開口領域を縦横に複数形成する走行レールと、走行部及び移載部を有する台車と、FOUPが載置される保管部と、を備える。保管部は、互いに隣接する複数のラックユニットを有し、各ラックユニットは、FOUPが載置される載置部材を含むと共に載置部材が開口領域の直下に位置するように設けられ、且つ、走行レールに対して着脱可能である。