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1. (WO2018211775) 検査システムおよび検査システムにおける温度測定方法
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国際公開番号: WO/2018/211775 国際出願番号: PCT/JP2018/007834
国際公開日: 22.11.2018 国際出願日: 01.03.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01K 11/12 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
G 物理学
01
測定;試験
K
温度の測定;熱量の測定;他に分類されない感温素子
11
グループ3/00,5/00,7/00,または9/00に包含されない物理的または化学的変化に基づく温度測定
12
色または透明度の変化を利用するもの
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
望月 純 MOCHIZUKI Jun; JP
山▲崎▼ 禎人 YAMASAKI Yoshihito; JP
代理人:
高山 宏志 TAKAYAMA Hiroshi; JP
優先権情報:
2017-09891318.05.2017JP
発明の名称: (EN) INSPECTION SYSTEM AND TEMPERATURE MEASURING METHOD FOR INSPECTION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D’INSPECTION ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TEMPÉRATURE POUR SYSTÈME D’INSPECTION
(JA) 検査システムおよび検査システムにおける温度測定方法
要約:
(EN) An inspection system (10) comprises: an inspection device (30) that includes a stage (21) on which a substrate (W) is mounted and that inspects the substrate (W) on the stage (21); a temperature adjustment mechanism (63) that adjusts the temperature of the stage (21); a substrate housing part (17a); a temperature measurement substrate standby part (17c) that causes a temperature measurement substrate (TW) to be on standby; a conveyance device (18) that conveys the substrate (W) and the temperature measurement substrate (TW) onto the stage (21); and a camera (16) used for aligning the substrate (W) on the stage (21). The temperature measurement substrate (TW) includes, on the surface thereof, a temperature measurement member (52) the state of which changes depending on the temperature. The conveyance device (18) conveys the temperature measurement substrate (TW) onto the stage, the camera (16) images the temperature measurement member (52), and the temperature of the temperature measurement substrate (TW) is measured from the change in the state of the temperature measurement member.
(FR) La présente invention concerne un système d’inspection (10) qui comprend : un dispositif d’inspection (30) qui comprend un étage (21) sur lequel un substrat (W) est monté et qui inspecte le substrat (W) sur l’étage (21) ; un mécanisme de réglage de température (63) qui ajuste la température de l’étage (21) ; une partie de boîtier de substrat (17a) ; une partie d’attente de substrat de mesure de température (17c) qui amène un substrat de mesure de température (TW) à être en attente ; un dispositif de transport (18) qui transporte le substrat (W) et le substrat de mesure de température (TW) sur l’étage (21) ; et une caméra (16) utilisée pour aligner le substrat (W) sur l’étage (21). Le substrat de mesure de température (TW) comprend, sur sa surface, un élément de mesure de température (52) dont l’état change en fonction de la température. Le dispositif de transport (18) transporte le substrat de mesure de température (TW) sur l’étage, la caméra (16) effectue l’imagerie de l’élément de mesure de température (52), et la température du substrat de mesure de température (TW) est mesurée à partir du changement d’état de l’élément de mesure de température.
(JA) 検査システム(10)は、基板(W)を載置するステージ(21)を有し、ステージ(21)上の基板(W)の検査を行う検査装置(30)と、ステージ(21)の温調を行う温調機構(63)と、基板収容部(17a)と、温度測定基板(TW)を待機させる温度測定基板待機部(17c)と、基板(W)および温度測定基板(TW)をステージ(21)上に搬送する搬送装置(18)と、ステージ(21)上での基板(W)のアライメントに用いるカメラ(16)とを具備する。温度測定基板(TW)は、表面に温度によって状態が変化する温度測定部材(52)を有し、搬送装置(18)により温度測定基板(TW)を前記ステージに搬送し、カメラ(16)により温度測定部材(52)を撮影し、その状態変化から温度測定基板(TW)の温度を測定する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)