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1. (WO2018211774) デバイスの検査方法

Pub. No.:    WO/2018/211774    International Application No.:    PCT/JP2018/007805
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018
IPC: G01R 31/28
H01L 21/66
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KAGAMI Tetsuya
加賀美 徹也
Title: デバイスの検査方法
Abstract:
テスタに並列に接続された複数のデバイスに対して、同時に所定のパターンの検査信号を入力して所定のパターンの検査を開始する第1工程と、所定のパターンにおいて不合格のデバイスが含まれているか否かを判定する第2工程と、第2工程において不合格のデバイスが含まれていると判定された場合に、複数のデバイスのそれぞれについて、所定のパターンを順次実行し、合格/不合格の判定を行う第3工程と、第3工程で不合格と判定されたデバイスを除外する第4工程とを有し、以降の検査を、除外されたデバイス以外のデバイスについて行う。