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1. (WO2018211736) 研磨装置および研磨方法
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国際公開番号: WO/2018/211736 国際出願番号: PCT/JP2018/000092
国際公開日: 22.11.2018 国際出願日: 05.01.2018
IPC:
B24B 41/02 (2006.01) ,B24B 21/00 (2006.01) ,B24B 49/08 (2006.01) ,B24B 55/00 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
[IPC code unknown for B24B 41/02][IPC code unknown for B24B 21][IPC code unknown for B24B 49/08][IPC code unknown for B24B 55][IPC code unknown for H01L 21/304]
出願人:
株式会社 荏原製作所 EBARA CORPORATION [JP/JP]; 東京都大田区羽田旭町11番1号 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510, JP
発明者:
柏木 誠 KASHIWAGI, Makoto; JP
吉田 篤史 YOSHIDA, Atsushi; JP
杜 峯杰 DU, Fong-Jie; JP
山下 道義 YAMASHITA, Michiyoshi; JP
代理人:
廣澤 哲也 HIROSAWA, Tetsuya; JP
渡邉 勇 WATANABE, Isamu; JP
優先権情報:
2017-09660415.05.2017JP
発明の名称: (EN) POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
(FR) APPAREIL DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE
(JA) 研磨装置および研磨方法
要約:
(EN) The present invention relates to a polishing apparatus and a polishing method, for pressing a polishing tool against the peripheral edge part of a substrate and polishing the peripheral edge part. The polishing apparatus is provided with a substrate retaining part (3) for retaining a substrate (W), a polishing head (50) for pressing a polishing tool (38) against the substrate (W), a support structure (24) for supporting the polishing head (50), a base structure (23) to which the support structure (24) is fixed, and a reinforcing structure (110) fixed to the support structure (24). The reinforcing structure (110) has an anchor mechanism (112) configured so as to be fixable to and detachable from the base structure (23).
(FR) La présente invention concerne un appareil de polissage et un procédé de polissage, pour presser un outil de polissage contre la partie bord périphérique d'un substrat et polir la partie bord périphérique. L'appareil de polissage est doté d'une partie de retenue de substrat (3) pour retenir un substrat (W), d'une tête de polissage (50) pour presser un outil de polissage (38) contre le substrat (W), d'une structure de support (24) pour supporter la tête de polissage (50), d'une structure de base (23) sur laquelle la structure de support (24) est fixée, et d'une structure de renfort (110) fixée à la structure de support (24). La structure de renfort (110) a un mécanisme d'ancrage (112) conçu de façon à pouvoir être fixé à la structure de base (23) et détaché de celle-ci.
(JA) 本発明は、基板の周縁部に研磨具を押し付けて該周縁部を研磨する研磨装置および研磨方法に関する。 研磨装置は、基板(W)を保持する基板保持部(3)と、研磨具(38)を基板Wに押し付ける研磨ヘッド(50)と、研磨ヘッド(50)を支持する支持構造体(24)と、支持構造体(24)が固定されたベース構造体(23)と、支持構造体(24)に固定された補強構造体(110)とを備える。補強構造体(110)は、ベース構造体(23)に固定可能および切り離し可能に構成されたアンカー機構(112)を有している。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)