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1. (WO2018211664) X線分光分析装置

Pub. No.:    WO/2018/211664    International Application No.:    PCT/JP2017/018701
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 19 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 23/223
G01N 23/207
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
Inventors: SATO, Kenji
佐藤 賢治
IZUMI, Takuro
和泉 拓朗
Title: X線分光分析装置
Abstract:
試料Sの照射領域Aに励起線を照射する励起源12と、照射領域Aに面して設けられた回折部材14と、照射領域Aと回折部材14の間に設けられた、照射領域A及び回折部材14の所定の面に平行なスリットを有するスリット部材13と、スリットの長手方向に垂直な方向に複数の検出素子が配列されてなる光入射面を有するX線リニアセンサ15と前記長手方向に垂直な面内で前記回折部材を移動させることにより、前記試料表面と前記所定の面の成す角度、又は/及び前記試料表面と前記所定の面の間の距離を変更する第1移動機構と、前記長手方向に垂直な面内で前記X線リニアセンサを移動させることにより、前記スリットを通過して前記所定の面で回折された特性X線の経路上に該X線リニアセンサを位置させる第2移動機構とを備えるX線分光分析装置。