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1. (WO2018211611) イオン検出装置及び質量分析装置

Pub. No.:    WO/2018/211611    International Application No.:    PCT/JP2017/018454
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 18 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 49/06
H01J 49/42
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
Inventors: NISHIGUCHI, Masaru
西口 克
Title: イオン検出装置及び質量分析装置
Abstract:
イオン検出器(4)は、アパーチャ板(41)とコンバージョンダイノード(43)との間にシールド電極(42)を備える。シールド電極(42)は、四重極マスフィルタ(3)の中心軸(C)の延長線(C')上に位置する直進粒子阻止壁(42a)と、該延長線(C')に対し所定角度θ(鋭角)で傾いたイオン誘引電場調整壁(42b)とを有し、イオン誘引電場調整壁にイオン通過開口(42c)が形成されている。四重極マスフィルタ(3)から出てきた中性粒子等の直進粒子は直進粒子阻止壁(42a)により遮断されるため、直進粒子に起因するノイズは低減される。一方、イオン誘引電場調整壁(42b)の電位はコンバージョンダイノード(43)により形成される強電場の等電位面に応じたものとされるので、強電場の状態はシールド電極(42)がない場合と大きく変化しない。それにより、強電場によるイオンの引込作用が発揮され、高いイオン検出効率を維持できる。