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1. (WO2018211585) プラズマ発生装置
Document

明 細 書

発明の名称 プラズマ発生装置

技術分野

0001  

背景技術

0002  

先行技術文献

特許文献

0003  

発明の概要

発明が解決しようとする課題

0004   0005   0006  

課題を解決するための手段

0007  

発明の効果

0008  

図面の簡単な説明

0009  

発明を実施するための形態

0010   0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038  

符号の説明

0039  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6  

図面

1   2   3   4   5  

明 細 書

発明の名称 : プラズマ発生装置

技術分野

[0001]
 本発明は、プラズマ発生装置に関するものである。

背景技術

[0002]
 特許文献1には、例えば3相のケーブルの各々が、アースされているシールド(金属遮蔽体)を有し、シールドを介してアースへ流れる地絡電流を検出する電流センサを備えるケーブル故障表示装置が開示されている。特許文献1のケーブル故障表示装置によれば、地絡電流が所定値を超えた場合に、ケーブルが地絡したことを検出することができる。

先行技術文献

特許文献

[0003]
特許文献1 : 特開2001-314009号公報

発明の概要

発明が解決しようとする課題

[0004]
 ところで、プラズマ発生装置は、ヘッドが備える1対の電極に電圧が印加されて、1対の電極の間に放電を発生させ、ヘッドから発生するプラズマを対象物に照射する。また、ヘッドは、1対の電極へ電力を供給する1対の電力ケーブルと電気的に接続される、例えば、コネクタなどを備え、コネクタと1対の電力ケーブルとの電気的な接続は解除可能である場合がある。この場合、ヘッドが備えるコネクタと、1対の電力ケーブルとの電気的な接続がされていない状態で、1対の電力ケーブルに電力が供給されてしまうと、コネクタと接続される1対の電力ケーブルの一方の末端部分から、近傍の金属へ短絡もしくは放電し、電流が流れてしまう。近傍の金属とは、例えば、電力ケーブルのシールド、1対の電力ケーブルの他方の末端部分、他装置の筐体などである。
[0005]
 ここで、1対の電力ケーブルの一方の末端部分から、電力ケーブルのシールドへ電流が流れる場合には、特許文献1記載の構成にて、電流センサによって、ヘッドのコネクタと1対の電力ケーブルとの電気的な接続がされていないことを検出することができる。しかしながら、シールド以外の近傍の金属に電流が流れる場合には、特許文献1記載の構成では、ヘッドのコネクタと、1対の電力ケーブルとの電気的な接続がされているか否かを検出することはできなかった。
[0006]
 本願は、上記の課題に鑑み提案されたものであって、ヘッドのコネクタと電力ケーブルとの電気的な接続がされているか否かを検出することができるプラズマ発生装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0007]
 本明細書は、放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第1端子および第2端子を有するコネクタを備えるヘッドと、端子に給電する電力ケーブルと、第1端子へ信号を伝送するケーブルと、第2端子を接地させる第1アースケーブルと、信号の伝送に伴いケーブルから第1アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、を備えるプラズマ発生装置を開示する。

発明の効果

[0008]
 本開示によれば、コネクタとケーブルおよび第1アースケーブルとが接続されている場合には、検出器が信号電流を検出するため、ヘッドのコネクタと電力ケーブルとの電気的な接続がされているか否かを検出することができるプラズマ発生装置を提供することができる。

図面の簡単な説明

[0009]
[図1] 産業用ロボットに取り付けられたプラズマ発生装置の概略構成を示す図である。
[図2] プラズマヘッドの斜視図である。
[図3] プラズマヘッドの内部構造を示す断面図である。
[図4] プラズマ発生装置の制御系統を示すブロック図である。
[図5] プラズマヘッドと制御装置との電気的な接続を示すブロック図である。

発明を実施するための形態

[0010]
全体構成
 プラズマ発生装置10は、プラズマヘッド11、制御装置110、ケーブルハーネス40、ガス配管80、および検知モジュール120などを備える。プラズマ発生装置10は、制御装置110からケーブルハーネス40を介してプラズマヘッド11に電力を伝送し、ガス配管80を介して処理ガスを供給し、プラズマヘッド11からプラズマを照射させる。プラズマヘッド11は、産業用ロボット100のロボットアーム101の先端に取り付けられている。ケーブルハーネス40およびガス配管80はロボットアーム101に沿って取り付けられている。ロボットアーム101は、2つのアーム部105,105を1方向に連結させた多関節ロボットである。産業用ロボット100は、ロボットアーム101を駆動して、ワーク台5が支持するワークWにプラズマを照射する作業を行う。後述するように、ケーブルハーネス40は、第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、ケーブル52、および第1アースケーブル53を有する。ガス配管80は、不図示の第1ガス配管および第2ガス配管を有する。制御装置110は、第1処理ガス供給装置111および第2処理ガス供給装置112を有する。第1処理ガス供給装置111は、窒素等を含む不活性ガスを処理ガスとして供給する。第2処理ガス供給装置112は、ドライエア等を含む活性ガスを処理ガスとして供給する。また、制御装置110には、タッチパネル113を備える。タッチパネル113は、各種の設定画面や装置の動作状態等を表示する。
[0011]
プラズマヘッドの構成
 次に、プラズマヘッド11の構成について、図2,3を用いて説明する。図2に示すように、プラズマヘッド11は、本体ブロック20、1対の電極22,22(図3)、緩衝部材26、第1連結ブロック28、反応室ブロック30、および第2連結ブロック32を備えている。以下の説明において、方向は、図2に示す方向を用いる。
[0012]
 本体ブロック20の上面には、上下方向に貫通する穴(不図示)が形成されており、貫通する穴に円筒状の上部ホルダ54,54が取り付けられている。上部ホルダ54,54には、棒状の導電部58,58が挿入されており、上部ホルダ54,54によって固定的に保持されている。導電部58,58は、夫々、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51と電気的に接続されている。導電部58,58の下の先端部には1対の電極22,22が取り付けられている。1対の電極22,22は、概して棒状である。本体ブロック20には、本体ブロック20の上面のY軸方向に沿う中心線上の位置に、上下方向に貫通する第1ガス流路62の開口部が形成されている。また、本体ブロック20の左右の面には、2本の第2ガス流路66の開口部が形成されている。第1ガス流路62および第2ガス流路66は、夫々、第1ガス配管および第2ガス配管が物理的に接続されている(接続状態については不図示)。
[0013]
 緩衝部材26は、概して板状をなし、シリコン樹脂製の素材により成形されている。第1連結ブロック28、反応室ブロック30、および第2連結ブロック32は、概して板厚形状をなし、セラミック製の素材により成形されている。
[0014]
 次に、図3を用いて、プラズマヘッド11の内部構造について説明する。本体ブロック20の下面には、1対の円柱状の円柱凹部60が形成されている。また、本体ブロック20の内部には、第1ガス流路62と、2本の第2ガス流路66とが形成されている。第1ガス流路62は1対の円柱凹部60の間に開口し、2本の第2ガス流路66は1対の円柱凹部60の内部に開口している。尚、第2ガス流路66は、本体ブロック20の左右面から、本体ブロック20の中央部に向かって、X軸方向に沿って所定距離、延びた後、下方向に向かって折れ曲がって形成されている。また、第1ガス流路62は、本体ブロック20の上面から、下に向かって、Z軸方向に沿って所定距離、延びた後、後方向に向かって折れ曲がり、さらに、下方向へ折れ曲がって形成されている。
[0015]
 緩衝部材26には、円柱凹部60と連通する挿入部76が形成されている。第1連結ブロック28には、挿入部76と連通する挿入部64が形成されている。反応室ブロック30には、挿入部64と連通する挿入部63が形成されている。本体ブロック20の円柱凹部60、挿入部76、挿入部64、および挿入部63が連通しており、内部の空間が反応室35である。第2連結ブロック32には、上下方向に貫通する複数の連通穴36が形成されている。複数の連通穴36は、Y方向における中央部において、X方向に並ぶように形成されている。
[0016]
プラズマ照射
 次に、プラズマ発生装置10におけるプラズマ発生について説明する。第1ガス流路62に、窒素等の不活性ガスとドライエアとの混合されたガスが処理ガスとして供給される。第1ガス流路62に供給されたガスは反応室35に供給される。また、第2ガス流路66に、窒素等の不活性ガスが処理ガスとして供給される。第2ガス流路66に供給された不活性ガスは、反応室35に供給される。また、1対の電極22,22に電圧が印加される。これにより、1対の電極22,22間に疑似アーク放電が生じ、電流が流れる。疑似アーク放電により、処理ガスがプラズマ化される。なお、疑似アーク放電とは、通常のアーク放電のように大電流が流れないように、プラズマ電源で電流を制限しながら放電させる方式のものである。反応室35で発生したプラズマは、第2連結ブロック32の複数の連通穴36を介して噴出され、ワークWにプラズマが照射される。
[0017]
制御系統
 次にプラズマ発生装置10の制御系統について、図4を用いて、説明する。制御装置110は、上記した構成の他に、コントローラ130、電源装置140、および複数の駆動回路132を備えている。複数の駆動回路132は、第1処理ガス供給装置111、第2処理ガス供給装置112、およびタッチパネル113に接続されている。コントローラ130は、CPU、ROM、RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路132および電源装置140に接続されている。コントローラ130は、電源装置140、第1処理ガス供給装置111、第2処理ガス供給装置112、およびタッチパネル113などを制御する。
[0018]
プラズマヘッド11の接続
 図5に示すように、プラズマヘッド11は不図示の筐体を備え、筐体の外面にコネクタ12が設置されている。コネクタ12は、端子13~16を有する。端子13,14は、夫々、1対の電極22,22と電気的に接続されている1対の端子である。端子15と端子16とはプラズマヘッド11の内部で結線されている。ケーブルハーネス40は、コネクタ41,42、第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、ケーブル52、および第1アースケーブル53を有する。第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51は、端子13,14に給電する1対の電力ケーブルである。ケーブル52は、後述するパルス信号を端子15へ伝送するケーブルである。コネクタ41は端子43~45を有する。コネクタ42は端子46~49を有する。第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、ケーブル52、および第1アースケーブル53の各々は、電線に絶縁体が被覆されているものである。また、第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51、およびケーブル52の各々は、一端が夫々、端子43~45に接続され、他端が夫々、端子46~48に接続されている。第1アースケーブル53の一端は端子49に接続されており、他端はアースされている。第1電力ケーブル50、第2電力ケーブル51およびケーブル52は、メッシュ状の導電性のシールド部材55でシールドされている。シールド部材55は、電線に絶縁体が被覆されている第2アースケーブル56でアースされている。
[0019]
 制御装置110は上記の構成の他に、フォトカプラ94およびリレー95を備えている。また、制御装置110は不図示の筐体を備えており、筐体の外面にコネクタ90が設置されている。コネクタ90は端子91~93を有する。商用電源(不図示)から給電される電源装置140は、AC電源141およびDC電源142を有する。AC電源141は端子91,92に対し、交流電力を供給する。
[0020]
 リレー95は出力端子96、第1入力端子97、および第2入力端子98を有し、コントローラ130から出力される信号に応じて、出力端子96との接続を第2入力端子98から第1入力端子97へ切替える。DC電源142はフォトカプラ94のフォトトランジスタのアノード端子に直流電圧を供給する。フォトカプラ94のフォトトランジスタのカソード端子および発光ダイオードのアノード端子はコントローラ130に電気的に接続されている。フォトカプラ94の発光ダイオードのカソード端子はリレー95の第1入力端子97に接続されている。リレー95の第2入力端子98は、電線に絶縁体が被覆されている第3アースケーブル57を介してアースされている。また、制御装置110が備える電源装置140およびコントローラ130の接地電圧は第3アースケーブル57を介してアースされている。リレー95の出力端子96はコネクタ90の端子93と電気的に接続されている。
[0021]
 制御装置110のコネクタ90とケーブルハーネス40のコネクタ41とが、端子91~93が、夫々、端子43~45と接続するように接続される。プラズマヘッド11のコネクタ12と、ケーブルハーネス40のコネクタ42とが、端子13~16が、夫々、端子46~49と接続するように接続される。
[0022]
 検知モジュール120は、カレントトランスCTおよび比較回路121を有する。カレントトランスCTの貫通コアには、第1アースケーブル53、第2アースケーブル56、および第3アースケーブル57が挿通されている。カレントトランスCTは、第1アースケーブル53、第2アースケーブル56、および第3アースケーブル57に流れる電流値に応じた検出電圧を比較回路121へ出力する。DC電源142は比較回路121へ基準電圧を供給する。比較回路121は、検出電圧が基準電圧以上となると、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号をコントローラ130へ出力する。
[0023]
 図1に示したように、ケーブルハーネス40は、産業用ロボット100のロボットアーム101に取り付けられている。ケーブルハーネス40の長さは、例えば5m程度である。また、プラズマヘッド11は例えばメンテナンスのため、産業用ロボット100から取り外され、ケーブルハーネス40との接続が解除される場合がある。その後、プラズマヘッド11が産業用ロボット100に取り付けられる際に、作業者がプラズマヘッド11とケーブルハーネス40との接続を忘れてしまう場合がある。コントローラ130は、例えば、電源装置140からプラズマヘッド11へ給電を開始させる前に、プラズマヘッド11とケーブルハーネス40との接続の有無を確認する処理を実行する。
[0024]
 コントローラ130は、例えば、プラズマ照射の開始を受け付けると、プラズマヘッド11とケーブルハーネス40との接続の有無を確認するために、リレー95に出力端子96との接続を第2入力端子98から第1入力端子97に切替える信号を出力する。これにより、図5に示すように、出力端子96と第1入力端子97とが接続する。また、フォトカプラ94の発光ダイオードにパルス信号を出力する。ケーブルハーネス40とプラズマヘッド11との電気的な接続がなされている場合には、パルス信号に応じた信号電流が、リレー95、ケーブル52、端子48、端子15、端子16、第1アースケーブル53を介して、アースへ流れる。これにより、フォトカプラ94からオン信号がコントローラ130へ出力される。コントローラ130は、フォトカプラ94からオン信号が入力されると、例えばタッチパネル113に接続ありを示す情報を表示させ、電源装置140に給電を開始させる。一方、ケーブルハーネス40とプラズマヘッド11との電気的な接続がなされていない場合には、パルス信号に応じた信号電流は流れないため、フォトカプラ94からオン信号がコントローラ130へ出力されない。コントローラ130は、フォトカプラ94からオン信号が入力されないと、例えばタッチパネル113に接続なしを示す情報を表示させる。これにより、作業者は、プラズマヘッド11とケーブルハーネス40との接続がなされていないことを認識することができる。
[0025]
 尚、プラズマ照射の際には、コントローラ130は、リレー95に出力端子96との接続を第2入力端子98から第1入力端子97に切替える信号を出力しない。このため、リレー95において、出力端子96と第2入力端子98とが接続し、ケーブル52は第3アースケーブル57を介して、アースされる。
[0026]
 ところで、ケーブルハーネス40は、産業用ロボット100のロボットアーム101に取り付けられている。このため、ロボットアーム101の動きに応じて、ケーブルハーネス40には、屈曲、拠り、引っ張りなどのストレスがかかり、損傷を受ける場合がある。例えば、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の少なくとも一方が破損し、アースされているシールド部材55との間で、短絡もしくは放電が生じた場合には、第2アースケーブル56に電流が流れる。また、例えば、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の少なくとも一方と、ケーブル52および第1アースケーブル53の少なくとも何れか一方とが破損し、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の少なくとも一方がアースとの間で短絡もしくは放電が生じた場合には、ケーブル52および第1アースケーブル53の少なくとも何れか一方に電流が流れる。尚、ケーブル52に電流が流れる場合には、リレー95を介して、第3アースケーブル57に電流が流れる。短絡もしくは放電により、第1アースケーブル53、第2アースケーブル56、および第3アースケーブル57の少なくとも何れか1つに電流が流れ、カレントトランスCTの検出電圧が基準電圧以上となると、比較回路121は、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号をコントローラ130へ出力する。コントローラ130は、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号が入力されると、例えばタッチパネル113に漏電を報知するメッセージを表示させる。
[0027]
 ここで、プラズマ発生装置10はプラズマ発生装置の一例である。電極22,22は電極および1対の電極の一例であり、端子13,14は端子および1対の端子の一例であり、端子15は第1端子の一例であり、端子16は第2端子の一例である。コネクタ12はコネクタの一例であり、プラズマヘッド11はヘッドの一例である。第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51は電力ケーブルおよび1対の電力ケーブルの一例である。また、ケーブル52はケーブルの一例であり、第1アースケーブル53は第1アースケーブルの一例であり、フォトカプラ94は検出器およびフォトカプラの一例である。フォトカプラ94の発光ダイオードは発光素子の一例である。コントローラ130は信号の出力装置の一例である。リレー95はリレーの一例であり、出力端子96は出力端子の一例であり、第1入力端子97は第1入力端子の一例であり、第2入力端子98は第2入力端子の一例である。第3アースケーブル57は第2アースケーブルの一例であり、第2アースケーブル56は第3アースケーブルの一例である。タッチパネル113は報知部の一例である。
[0028]
 以上、説明した第1実施形態によれば、以下の効果を奏する。
 プラズマ発生装置10は、コネクタ12を有するプラズマヘッド11、ケーブルハーネス40、フォトカプラ94を備える。コネクタ12は、放電によりプラズマを発生させる電極22,22に給電する端子13,14、および結線されている端子15および端子16を有する。ケーブルハーネス40は、端子13,14に給電する第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51、端子15へパルス信号を伝送するケーブル52、端子16を接地させる第1アースケーブル53を有する。フォトカプラ94は、パルス信号の伝送に伴いケーブル52から第1アースケーブル53に至る経路に流れる信号電流を検出する。
[0029]
 プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされている場合には、コントローラ130からフォトカプラ94、リレー95、ケーブル52、端子15、端子16、第1アースケーブル53を介して、アースへパルス信号に応じた信号電流が流れる。一方、プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされていない場合には、パルス信号に応じた信号電流は流れない。つまり、フォトカプラ94により信号電流が検出された場合とは、プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされている場合である。プラズマ発生装置10は、フォトカプラ94が信号電流を検出するか否かにより、プラズマヘッド11のコネクタ12と、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51との電気的な接続がされているか否かを検出することができる。
[0030]
 また、プラズマ発生装置10は、コントローラ130とケーブル52との間に介在するリレー95を備える。リレー95は、コントローラ130と接続される第1入力端子97と、アースされる第2入力端子98と、ケーブル52と接続する出力端子96とを有する。コントローラ130は、例えばプラズマ発生前に、フォトカプラ94へパスル信号を出力し、リレー95へ出力端子96との接続を第1入力端子97に切替える信号を出力する。リレー95はパルス信号の伝送に応じて、出力端子96との接続を第2入力端子98から第1入力端子97に切替える。このように、プラズマ発生装置10は、プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされているか否かを検出する場合には、リレー95の出力端子96を第1入力端子97と接続する。また、プラズマ発生装置10は、1対の電極22,22に電力を供給してのプラズマ発生時には、リレー95の出力端子96を第2入力端子98と接続する。これにより、プラズマ発生時において、リレー95を介する経路により、ケーブル52をアースさせることができる。
[0031]
 また、プラズマ発生装置10は、端子16をアースさせる第1アースケーブル53と、第2入力端子98を接地させる第3アースケーブル57と、シールド部材55をアースさせる第2アースケーブル56と、カレントトランスCTとを備える。カレントトランスCTは、第1アースケーブル53を流れる信号電流、第2アースケーブル56、および第3アースケーブル57に流れる電流を検出する。1対の電極22,22に電力を供給してのプラズマ発生時において、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の少なくとも何れか一方が破損した場合に、シールド部材55と短絡もしくは放電により、第2アースケーブル56に電流が流れる場合がある。また、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の少なくとも何れか一方と、ケーブル52および第1アースケーブル53の少なくとも何れか一方とが破損した場合には、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の少なくとも何れか一方と、ケーブル52および第1アースケーブル53の少なくとも何れか一方との間で、短絡もしくは放電し、ケーブル52および第1アースケーブル53の少なくとも何れか一方を介して、アースに電流が流れる場合がある。このような場合、第1アースケーブル53、第2アースケーブル56、および第3アースケーブル57の少なくとも何れか1つに、短絡もしくは放電に伴う電流が流れ、検出電圧が基準電圧以上となると、比較回路121は、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号をコントローラ130へ出力する。このように、リレー95における出力端子96との接続を切替えて、カレントトランスCTにより、プラズマヘッド11のコネクタ12と第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51との電気的な接続がされているか否かの検出に加え、第1電力ケーブル50および第2電力ケーブル51の破損などによるアースへの漏電を検出することができる。
[0032]
 また、プラズマ発生装置10は、フォトカプラ94が信号電流を検出することに応じて、コネクタ12が接続されている旨を報知するタッチパネル113を備える。これにより、作業者は、コネクタ12が接続されてないことを認識することができる。
[0033]
 また、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内での種々の改良、変更が可能であることは言うまでもない。
 例えば、上記では、リレー95を備える構成を説明したが、リレー95を備えない構成としても良い。この場合、プラズマ発生時には、コントローラ130のパルス信号の出力端子をハイインピーダンスとする、プルダウンするなどしてもと良い。また、上記では、単極双投のリレー95を備える構成を説明したが、単極単投のリレーをそなえる構成としても良い。詳しくは、プラズマ発生時には、リレーの接点を開き、フォトカプラ94と端子93との電気的な接続を切る。また、プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされているか否かを検出する場合には、リレーの接点を閉じる構成とする。
[0034]
 また、上記では、プラズマヘッド11のコネクタ12とケーブルハーネス40との電気的な接続がされているか否かを、フォトカプラ94により検出すると説明したが、カレントトランスCTにより検出する構成としても良い。詳しくは、上記と同様に、ケーブル52にパルス信号を伝達させ、第1アースケーブル53に信号電流が流れるか否かをカレントトランスCTにより検出する構成としても良い。
[0035]
 また、上記では、検出器としてフォトカプラ94を例示したが、検出器はフォトカプラ94に限らない。例えば、シャント抵抗などを用いて、信号電流を検出する構成としても良い。また、フォトカプラ94はコントローラ130とリレー95との間に接続されていると説明したが、位置はこれに限定されず、例えば、リレー95と端子93との間に接続される構成としても良い。
[0036]
 また、上記では、信号としてパルス信号を例示したが、信号はパルス信号に限らない。例えば、信号を定電圧信号とする構成としても良い。この場合、コントローラ130ではなく、電源装置140から信号を出力する構成としても良い。
[0037]
 また、上記では、第1アースケーブル53はシールド部材55にシールドされていない構成を説明したが、シールドされている構成としても良い。
[0038]
 また、報知部としてタッチパネル113を例示したが、これに限定されない。報知部は、例えばLEDなどの表示灯、スピーカなどでも良い。

符号の説明

[0039]
 10 プラズマ発生装置
 11 プラズマヘッド
 12 コネクタ
 13,14,15,16 端子
 22 電極
 50 第1電力ケーブル
 51 第2電力ケーブル
 52 ケーブル
 53 第1アースケーブル
 56 第2アースケーブル
 57 第3アースケーブル
 94 フォトカプラ
 95 リレー
 96 出力端子
 97 第1入力端子
 98 第2入力端子
 113 タッチパネル
 130 コントローラ
 CT カレントトランス

請求の範囲

[請求項1]
 放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第1端子および第2端子を有するコネクタを備えるヘッドと、
 前記端子に給電する電力ケーブルと、
 前記第1端子へ信号を伝送するケーブルと、
 前記第2端子を接地させる第1アースケーブルと、
 前記信号の伝送に伴い前記ケーブルから前記第1アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、を備えるプラズマ発生装置。
[請求項2]
 前記検出器は前記経路に発光素子を介在させたフォトカプラである請求項1に記載のプラズマ発生装置。
[請求項3]
 前記信号の出力装置と前記ケーブルとの間に介在するリレーを備え、
 前記リレーは、
 前記信号の出力装置と接続される第1入力端子と、接地される第2入力端子と、前記ケーブルと接続する出力端子とを有し、前記信号の伝送に応じて前記出力端子との接続を前記第2入力端子から前記第1入力端子に切替える請求項1または2に記載のプラズマ発生装置。
[請求項4]
 前記検出器はカレントトランスであり、
 前記第2入力端子を接地させる第2アースケーブルと、
 前記電力ケーブルおよび前記ケーブルをシールドするシールド部材を接地させる第3アースケーブルと、を備え、
 前記カレントトランスは、前記第1アースケーブルを流れる前記信号電流と、前記第2アースケーブルおよび前記第3アースケーブルに流れる電流とを検出する請求項3に記載のプラズマ発生装置。
[請求項5]
 前記検出器が前記信号電流を検出することに応じて、前記コネクタが接続されている旨を報知する報知部を備える請求項1から4の何れかに記載のプラズマ発生装置。
[請求項6]
 前記電極、前記端子、前記電力ケーブルをそれぞれ1対備える請求項1から5の何れかに記載のプラズマ発生装置。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]