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1. (WO2018211563) 原子間力顕微鏡

Pub. No.:    WO/2018/211563    International Application No.:    PCT/JP2017/018214
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue May 16 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01Q 10/04
G01Q 60/32
Applicants: OLYMPUS CORPORATION
オリンパス株式会社
Inventors: SAKAI, Nobuaki
酒井 信明
Title: 原子間力顕微鏡
Abstract:
流体中で、カンチレバー(102)の自由端に設けられた探針(101)と試料(104)の間の相互作用に基づいて試料情報を取得し、表示する原子間力顕微鏡は、XY平面に沿ってカンチレバーと試料を相対的にラスター走査させるラスター走査制御器(113)と、カンチレバーを加振するとともに、探針と試料の間に生じる相互作用を制御する相互作用制御器(105)と、相互作用制御器の制御結果に基づいて、XY平面に対する試料表面(104a)の傾斜情報を含んだ試料情報を取得する試料情報取得器(114)と、試料情報を表示する試料情報表示器(115)とを備えている。相互作用制御器は、XY平面に対する試料表面の傾斜に応じて、探針と試料の間に生じる相互作用を制御するように構成されている。