このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018211551) ターゲット計測装置及び極端紫外光生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/211551 国際出願番号: PCT/JP2017/018150
国際公開日: 22.11.2018 国際出願日: 15.05.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G01B 11/00 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
薮 隆之 YABU Takayuki; JP
代理人:
保坂 延寿 HOSAKA Nobuhisa; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) TARGET MEASURING DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE CIBLE ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) ターゲット計測装置及び極端紫外光生成装置
要約:
(EN) This target measuring device is provided with: a photographing unit (80) that photographs an image of a target outputted from a target supply unit; a moving unit (82) that moves at least a part of the photographing unit; and a control unit (51) configured to perform first processing for updating coordinate system information of the image on the basis of a quantity the photographing unit moved by the moving unit, and second processing for measuring parameters of the target on the basis of the image photographed by the photographing unit, and the coordinate system information. Deviation of target measurement results due to the moving of the photographing unit can be corrected by updating the coordinate system information.
(FR) Le présent dispositif de mesure de cible comporte: une unité (80) de photographie qui photographie une image d'une cible émanant d'une unité de fourniture de cible; une unité (82) de déplacement qui déplace au moins une partie de l'unité de photographie; et une unité (51) de commande configurée pour effectuer un premier traitement visant à mettre à jour des informations de système de coordonnées de l'image sur la base d'une quantité de déplacement de l'unité de photographie par l'unité de déplacement, et un second traitement visant à mesurer des paramètres de la cible sur la base de l'image photographiée par l'unité de photographie et des informations de système de coordonnées. Un écart des résultats de mesure de la cible dû au déplacement de l'unité de photographie peut être corrigé en mettant à jour les informations de système de coordonnées.
(JA) ターゲット計測装置は、ターゲット供給部から出力されるターゲットの画像を撮影する撮影部(80)と、撮影部の少なくとも一部を移動させる移動部(82)と、制御部(51)であって、移動部による前記撮影部の移動量に基づいて、前記画像における座標系の情報を更新する第1の処理と、撮影部によって撮影される画像と、前記座標系の情報とに基づいて、ターゲットのパラメータを計測する第2の処理と、を行うように構成された前記制御部と、を備える。座標系の情報を更新することにより、撮影部の移動によるターゲットの計測結果のずれを校正することができる。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)