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1. (WO2018207842) 質量分析装置及び質量分析方法

Pub. No.:    WO/2018/207842    International Application No.:    PCT/JP2018/017989
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 10 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 49/10
G01N 27/62
G01N 27/64
H01J 27/24
Applicants: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
株式会社 東芝
KOGAKUIN UNIVERSITY
学校法人 工学院大学
Inventors: SAITO, Reiko
齋藤 玲子
AKUTSU, Haruko
圷 晴子
SAKAMOTO, Tetsuo
坂本 哲夫
TAKANO, Akio
高野 明雄
Title: 質量分析装置及び質量分析方法
Abstract:
実施形態にかかる質量分析装置は、試料台(12a)と、分析部(50)と、イオンビーム源(20)と、アシストエネルギー源(40)と、レーザ光源(30)と、を備える。前記試料台(12a)は、試料を保持可能に設けられる。前記分析部(50)は、前記試料台(12a)の試料載置面(12c)に対向配置され、質量分析をする。前記イオンビーム源(20)は、前記試料載置面(12c)に向けてイオンビームを照射可能に設けられる。前記アシストエネルギー源(40)は、前記試料載置面(12c)と前記分析部(50)の間の対象領域にアシストエネルギーを供給する。前記レーザ光源(30)は、前記対象領域にレーザ光を照射する。