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1. (WO2018207803) 硬質炭素膜とその製造方法および摺動部材
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国際公開番号: WO/2018/207803 国際出願番号: PCT/JP2018/017862
国際公開日: 15.11.2018 国際出願日: 09.05.2018
IPC:
C23C 14/06 (2006.01) ,C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 16/26 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06
被覆材料に特徴のあるもの
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
22
金属質材料以外の無機質材料の析出に特徴のあるもの
26
炭素のみの析出
出願人:
日本アイ・ティ・エフ株式会社 NIPPON ITF, INC. [JP/JP]; 京都府京都市南区久世殿城町575番地 575, Kuzetonoshiro-cho, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018205, JP
発明者:
大城 竹彦 OOSHIRO, Takehiko; JP
福谷 友佳子 FUKUTANI, Yukako; JP
三宅 浩二 MIYAKE, Koji; JP
優先権情報:
2017-09458811.05.2017JP
発明の名称: (EN) HARD CARBON FILM, MANUFACTURING METHOD FOR SAME, AND SLIDING MEMBER
(FR) FILM DE CARBONE DUR, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET ÉLÉMENT COULISSANT
(JA) 硬質炭素膜とその製造方法および摺動部材
要約:
(EN) The present invention relates to manufacturing technology for a hard carbon film that can exhibit not only excellent wear resistance but also sufficiently low abrasiveness by smoothing of a sliding surface while suppressing occurrences of cost increases as well as time and effort because of lapping treatments and the like for sliding in oil containing MoDTC. Provided is a hard carbon film that forms a sliding surface of a sliding member, wherein the hard carbon film includes terminal atoms that bond with carbon atoms and has a plurality of protruding shaped parts, part of which protrude from the surface thereof, with the periphery of each of the plurality of protruding shaped parts being terminated by a terminal atom. Also provided is a manufacturing method for the hard carbon film for producing the hard carbon film on a sliding surface of the sliding member using arc vapor deposition having graphite as the vaporization source, wherein a gas containing the terminal atoms that bond with carbon atoms is introduced, and the plurality of protruding shaped parts are grown on the surface of the hard carbon film while terminating the periphery of the plurality of protruding shaped parts by bonding of the terminal atoms with carbon atoms.
(FR) La présente invention concerne une technologie de fabrication de film de carbone dur qui peut présenter non seulement une excellente résistance à l'usure mais aussi une abrasivité suffisamment faible par lissage d'une surface de glissement tout en supprimant les occurrences d'augmentation des coûts, ainsi que le temps et l'effort du fait des traitements de rodage et autres pour le glissement dans une huile contenant MoDTC. L'invention concerne un film de carbone dur qui forme la surface de glissement d'un élément coulissant, où le film de carbone dur comprend des atomes terminaux qui se lient à des atomes de carbone et qui comporte une pluralité de parties de forme saillante, dont une partie faisant saillie à partir de sa surface, la périphérie de chacune des parties de ladite pluralité de parties de forme saillante se terminant par un atome terminal. Un procédé de fabrication du film de carbone dur pour former le film de carbone dur selon l'invention sur la surface de glissement de l'élément coulissant par dépôt en phase vapeur d'arc en utilisant du graphite à titre de source de vaporisation, où un gaz contenant les atomes terminaux qui se lient à des atomes de carbone est introduit, et la pluralité de parties de forme saillante est amenée à croître sur la surface du film de carbone dur tout en terminant la périphérie de la pluralité de parties de forme saillante par liaison des atomes terminaux aux atomes de carbone.
(JA) MoDTC含有オイル中での摺動に際して、優れた耐摩耗性に加えて、ラップ処理などによるコストアップや手間の発生を抑制しながら摺動面を平滑化して十分な低摩擦性を発揮することができる硬質炭素膜の製造技術を提供する。摺動部材の摺動面を形成する硬質炭素膜であって、炭素原子と結合する終端用原子を含有し、表面から一部が突出している複数の隆起状形態部を有しており、複数の隆起状形態部の周囲が、それぞれ、終端用原子により終端されている硬質炭素膜。グラファイトを蒸発源とするアーク蒸着法を用いて摺動部材の摺動面に硬質炭素膜を成膜する硬質炭素膜の製造方法であって、炭素原子と結合する終端用原子を含有するガスを導入して、複数の隆起状形態部を、周囲を終端用原子により炭素原子と結合させて終端させながら硬質炭素膜の表面に成長させる硬質炭素膜の製造方法。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)