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1. (WO2018207770) CuNi合金スパッタリングターゲットおよびCuNi合金粉末
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国際公開番号: WO/2018/207770 国際出願番号: PCT/JP2018/017751
国際公開日: 15.11.2018 国際出願日: 08.05.2018
IPC:
C23C 14/34 (2006.01) ,B22F 1/00 (2006.01) ,C22C 1/04 (2006.01) ,C22C 9/06 (2006.01) ,C22C 19/03 (2006.01)
[IPC code unknown for C23C 14/34][IPC code unknown for B22F 1][IPC code unknown for C22C 1/04][IPC code unknown for C22C 9/06][IPC code unknown for C22C 19/03]
出願人:
三菱マテリアル株式会社 MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区大手町一丁目3番2号 3-2, Otemachi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008117, JP
発明者:
大友 健志 OHTOMO Takeshi; JP
井尾 謙介 IO Kensuke; JP
代理人:
松沼 泰史 MATSUNUMA Yasushi; JP
寺本 光生 TERAMOTO Mitsuo; JP
細川 文広 HOSOKAWA Fumihiro; JP
大浪 一徳 ONAMI Kazunori; JP
優先権情報:
2017-09311709.05.2017JP
2018-07922117.04.2018JP
発明の名称: (EN) CuNi ALLOY SPUTTERING TARGET AND CuNi ALLOY POWDER
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE CUIVRE NICKEL ET POUDRE D'ALLIAGE CUIVRE NICKEL
(JA) CuNi合金スパッタリングターゲットおよびCuNi合金粉末
要約:
(EN) The present invention is characterized by having a composition which contains from 16% by mass to 55% by mass (inclusive) of Ni, with the balance made up of Cu and unavoidable impurities, and wherein the contents of Si, Al, Mg and Zr among the unavoidable impurities are respectively 30 ppm by mass or less. The present invention is also characterized by having crystal grain size variation of 40% or less, and by not having magnetic properties.
(FR) La présente invention est caractérisée en ce qu'elle présente une composition qui contient de 16 % en masse à 55 % en masse (inclus) de Ni, le reste étant constitué de Cu et d'impuretés inévitables et les teneurs en Si, Al, Mg et Zr parmi les impuretés inévitables étant respectivement de 30 ppm en masse ou moins. La présente invention est également caractérisée par une variation de taille de grain cristallin de 40 % ou moins et par l'absence de propriétés magnétiques.
(JA) Niを16質量%以上55質量%以下の範囲内で含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有し、前記不可避不純物のうち、Si、Al、Mg、Zrの含有量がそれぞれ30質量ppm以下であり、結晶粒径のばらつきが40%以下であって、磁性を有さないことを特徴とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)