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1. (WO2018207705) マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置

Pub. No.:    WO/2018/207705    International Application No.:    PCT/JP2018/017543
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: H05H 1/46
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KANEKO Kazushi
金子 和史
ONUMA Yuji
大沼 勇二
Title: マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置
Abstract:
装置は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、マイクロ波を出力する出力部と、進行波の一部を出力する第1の方向性結合器と、反射波の一部を出力する第2の方向性結合器と、進行波のパワーを示す第1の測定値を決定するとともに、反射波のパワーを示す第2の測定値を決定する測定部と、を備え、マイクロ波発生部は、第1の測定値及び第2の測定値を所定の移動平均時間及び所定のサンプリング間隔で平均化し、かつ、平均化された第1の測定値から平均化された第2の測定値を減算した値が設定パワーに近づくようにマイクロ波を制御し、所定の移動平均時間は60μs以下であり、かつ、所定のサンプリング間隔をx、所定の移動平均時間をyとすると、y≧78.178x0.1775の関係を満たす。