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1. (WO2018207704) 洗浄装置、基板処理装置、洗浄装置のメンテナンス方法、および洗浄装置のメンテナンスプログラムを含むコンピュータ読み取り可能な記録媒体

Pub. No.:    WO/2018/207704    International Application No.:    PCT/JP2018/017539
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/304
Applicants: EBARA CORPORATION
株式会社荏原製作所
Inventors: ISOKAWA Hidetatsu
磯川 英立
INABA Mitsuhiko
稲葉 充彦
XU Haiyang
徐 海洋
Title: 洗浄装置、基板処理装置、洗浄装置のメンテナンス方法、および洗浄装置のメンテナンスプログラムを含むコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Abstract:
洗浄装置が開示される。一実施形態において、洗浄装置は、洗浄部材と、移動部と、測定部と、制御部と、を備え、制御部は、洗浄する前に、洗浄部材を基準部材に押し付けさせ、測定部の測定値が所定のリセット用荷重に到達した後、基準部材から離間する方向に洗浄部材を移動させ、洗浄部材の単位移動量毎の測定部の測定値が、少なくとも2回連続して互いに同等となった時点で、その時点での洗浄部材の位置を洗浄時における洗浄部材の基準位置として設定するとともに、その時点での測定部の測定値を洗浄時における押付基準値として設定するリセット動作を行う。