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1. WO2018207618 - 読み出し専用の光情報記録媒体および該光情報記録媒体の反射膜形成用スパッタリングターゲット

公開番号 WO/2018/207618
公開日 15.11.2018
国際出願番号 PCT/JP2018/016680
国際出願日 24.04.2018
IPC
G11B 7/258 2013.01
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
7光学的手段による記録または再生,例.光ビームの照射による記録,低パワー光ビームを用いる再生;そのための記録担体
24形状、構造または物性によって、または材料の選定によって特徴づけられる記録担体
241材料の選定に特徴のある記録担体
252記録層以外の層
258反射層について
C23C 14/06 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06被覆材料に特徴のあるもの
C23C 14/08 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06被覆材料に特徴のあるもの
08酸化物
C23C 14/34 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
G11B 7/24056 2013.01
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
7光学的手段による記録または再生,例.光ビームの照射による記録,低パワー光ビームを用いる再生;そのための記録担体
24形状、構造または物性によって、または材料の選定によって特徴づけられる記録担体
2403層;その形状、構造または物性
24056光の入射側にあって基板よりも薄い光透過層,例.特にブルーレイ(登録商標)ディスクに適合したもの
G11B 7/24085 2013.01
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
7光学的手段による記録または再生,例.光ビームの照射による記録,低パワー光ビームを用いる再生;そのための記録担体
24形状、構造または物性によって、または材料の選定によって特徴づけられる記録担体
2407トラックまたはピット;その形状、構造または物性
24085ピット
CPC
C23C 14/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
08Oxides
C23C 14/086
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
08Oxides
086of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
C23C 14/3407
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
C23C 14/3414
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
3414Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
G11B 7/24038
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
2403Layers; Shape, structure or physical properties thereof
24035Recording layers
24038Multiple laminated recording layers
G11B 7/24056
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
2403Layers; Shape, structure or physical properties thereof
24056Light transmission layers lying on the light entrance side and being thinner than the substrate, e.g. specially adapted for Blu-ray® discs
出願人
  • 株式会社神戸製鋼所 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP]/[JP]
発明者
  • 田内 裕基 TAUCHI Yuki
代理人
  • 特許業務法人栄光特許事務所 EIKOH PATENT FIRM, P.C.
優先権情報
2017-09473311.05.2017JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) READ-ONLY OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM AND SPUTTERING TARGET FOR FORMING REFLECTION FILM OF SAID OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM
(FR) SUPPORT D'ENREGISTREMENT D'INFORMATIONS OPTIQUES EN LECTURE SEULE ET CIBLE DE PULVÉRISATION POUR FORMER UN FILM RÉFLÉCHISSANT DUDIT SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) 読み出し専用の光情報記録媒体および該光情報記録媒体の反射膜形成用スパッタリングターゲット
要約
(EN)
The present invention relates to a read-only optical information recording medium in which at least one reflection film and at least one optically transparent layer are stacked sequentially on a substrate and with which information is played back by using a blue laser. The reflection film is formed of a metal oxide containing Sn and Zn or a metal oxide containing In, and the thickness of the reflection film is 20-70 nm. The present invention makes it possible to provide a read-only optical information recording medium having superior playback stability due to high reflectance and low jitter (small fluctuations of playback signals along the temporal axis) and also having good durability.
(FR)
La présente invention concerne un support d'enregistrement d'informations optiques en lecture seule dans lequel au moins un film réfléchissant et au moins une couche optiquement transparente sont empilés séquentiellement sur un substrat et avec lesquels des informations sont lues à l'aide d'un laser bleu. Le film réfléchissant est formé d'un oxyde métallique contenant Sn et Zn ou un oxyde métallique contenant In, et l'épaisseur du film réfléchissant est comprise entre 20 et 70 nm. La présente invention permet de fournir un support d'enregistrement d'informations optiques en lecture seule comportant une stabilité de lecture supérieure due à une réflectance élevée et une faible gigue (petites fluctuations de signaux de lecture le long de l'axe temporel) et comportant également une bonne durabilité.
(JA)
本発明は、基板上に反射膜および光透過層が少なくとも1層ずつ順次積層され、青色レーザーにより情報の再生が行われる読み出し専用の光情報記録媒体に関するものであり、反射膜は、Sn及びZnを含む金属酸化物又はInを含む金属酸化物からなり、かつ、反射膜の膜厚が20nm以上70nm以下である。本発明によれば、高い反射率および低ジッター(再生信号の時間軸上のゆらぎが少ないこと)により再生安定性に優れており、かつ、耐久性も良好な、読み出し専用光情報記録媒体を提供することができる。
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