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1. (WO2018207553) 液体材料気化供給装置及び制御プログラム

Pub. No.:    WO/2018/207553    International Application No.:    PCT/JP2018/015588
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 14 01:59:59 CEST 2018
IPC: B01J 7/02
C23C 16/448
G05D 7/01
H01L 21/205
Applicants: HORIBA STEC, CO., LTD.
株式会社堀場エステック
Inventors: MIYAMOTO, Hideaki
宮本 英顕
Title: 液体材料気化供給装置及び制御プログラム
Abstract:
材料ガスの種類によって校正を実施する必要がなく、校正データがない材料ガスであっても正確に流量を制御できるようにする。液体材料を気化して材料ガスを生成する第1タンクと、前記第1タンクに接続され、前記第1タンクで生成された前記材料ガスが所定圧力で収容される第2タンクと、前記第2タンク内の圧力を検知する圧力センサと、前記第2タンクから前記材料ガスを導出する導出路と、前記導出路に設けられ、その導出路を開閉する流体制御バルブと、前記第2タンクに所定圧力で収容された前記材料ガスを前記導出路から導出する場合に、前記圧力センサによって検知される検知圧力の低下に基づいて、前記流体制御バルブの開度を制御して前記導出路から導出される前記材料ガスの流量を制御する流量制御部と、を具備する。