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1. (WO2018207479) エッチング液組成物及びエッチング方法

Pub. No.:    WO/2018/207479    International Application No.:    PCT/JP2018/012128
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Mar 27 01:59:59 CEST 2018
IPC: C23F 1/18
C23F 1/26
C23F 1/28
H01L 21/308
H05K 3/06
Applicants: ADEKA CORPORATION
株式会社ADEKA
Inventors: SAITOH Kouta
齊藤 康太
HIGAKI Tadahiro
桧垣 忠弘
MORI Takahiro
森 貴裕
Title: エッチング液組成物及びエッチング方法
Abstract:
銅系層と、ニッケル及びクロムのうちの少なくとも一方を含有する金属系層とを含む積層体を一括でエッチングした場合であっても細り幅が少なく、直線性が良好であるとともに大きな欠けの発生が抑制された細線を形成することが可能なエッチング液組成物を提供する。 銅、ニッケル、及びクロムからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属を含有する層をエッチングするためのエッチング液組成物である。このエッチング液組成物は、(A)第二鉄イオン0.1~10質量%;(B)塩化物イオン0.1~10質量%;(C)ギ酸イオン0.01~5質量%;(D)下記一般式(1)で表される化合物及び炭素原子数1~4の直鎖又は分岐状アルコールからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物0.01~10質量%;(E)下記一般式(2)で表される化合物、ホスホン酸化合物及びその塩、アミノカルボン酸化合物及びその塩、2価以上のカルボン酸化合物及びその塩、並びに2価以上のカルボン酸化合物が脱水してなる一無水物及び二無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物0.01~10質量%;並びに水を含有する。