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1. (WO2018207414) Sn-Zn-O系酸化物焼結体とその製造方法
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国際公開番号: WO/2018/207414 国際出願番号: PCT/JP2018/004072
国際公開日: 15.11.2018 国際出願日: 06.02.2018
IPC:
C04B 35/453 (2006.01) ,C23C 14/34 (2006.01) ,H01B 1/08 (2006.01)
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01
酸化物を基とするもの
453
酸化亜鉛,酸化スズまたは酸化ビスマスまたはそれらと他の酸化物,例.亜鉛酸塩,スズ酸塩またはビスマス酸塩,の固溶体を基とするもの
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
H 電気
01
基本的電気素子
B
ケーブル;導体;絶縁体;導電性,絶縁性または誘導性特性に対する材料の選択
1
導電材料によって特徴づけられる導体または導電物体;導体としての材料の選択
06
主として他の非金属物質からなるもの
08
酸化物
出願人:
住友金属鉱山株式会社 SUMITOMO METAL MINING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都港区新橋5丁目11番3号 11-3, Shimbashi 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1058716, JP
発明者:
▲桑▼原 正和 KUWAHARA Masakazu; JP
仁藤 茂生 NITO Shigeo; JP
代理人:
小池 晃 KOIKE Akira; JP
河野 貴明 KONO Takaaki; JP
村上 浩之 MURAKAMI Hiroyuki; JP
北原 明彦 KITAHARA Akihiko; JP
優先権情報:
2017-09598212.05.2017JP
発明の名称: (EN) Sn-Zn-O-BASED OXIDE SINTERED BODY AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
(FR) CORPS FRITTÉ D'OXYDE À BASE DE Sn-Zn-O ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) Sn-Zn-O系酸化物焼結体とその製造方法
要約:
(EN) Provided are an Sn-Zn-O-based oxide sintered body of high density and low resistance that can be used in such applications as barrier films and protective films, and a production method therefor. This Sn-Zn-O-based oxide sintered body has zinc (Zn) and tin (Sn) as components, and additionally contains at least germanium (Ge), tantalum (Ta), and gallium (Ga) as components, the metal atom number ratios being between 0.1 and 0.3 inclusive for Sn/(Zn+Sn), between 0.0005 and 0.01 inclusive for Ge/(Zn + Sn + Ge + Ta + Ga), between 0.0005 and 0.01 inclusive for Ta/(Zn + Sn + Ge + Ta + Ga), and between 0.001 and 0.1 inclusive for Ga/(Zn + Sn + Ge + Ta + Ga), the specific resistance thereof being between 5 Ω•cm and 12,000 Ω•cm inclusive, and the relative density thereof being 94% or greater.
(FR) L'invention concerne un corps fritté d'oxyde à base de Sn-Zn-O de haute densité et de faible résistance qui peut être utilisé dans des applications telles que des films barrières et des films protecteurs, et son procédé de production. Ce corps fritté d'oxyde à base de Sn-Zn-O comprend du zinc (Zn) et de l'étain (Sn) en tant que constituants, et contient en outre au moins du germanium (Ge), du tantale (Ta) et du gallium (Ga) en tant que constituants, les rapports en nombre d'atomes métalliques étant compris entre 0,1 et 0,3 inclus pour Sn/(Zn + Sn), entre 0,0005 et 0,01 inclus pour Ge/(Zn + Sn + Ge + Ta + Ga), entre 0,0005 et 0,01 inclus pour Ta/(Zn + Sn + Ge + Ta + Ga), et entre 0,001 et 0,1 inclus pour Ga/(Zn + Sn + Ge + Ta + Ga), sa résistance spécifique étant comprise entre 5 Ω•cm et 12 000 Ω•cm inclus, et sa densité relative étant supérieure ou égale à 94 %.
(JA) バリア膜や保護膜等の用途にも使用可能であり、高密度で低抵抗なSn-Zn-O系酸化物焼結体とその製造方法を提供する。亜鉛(Zn)とスズ(Sn)を成分として有するSn-Zn-O系酸化物焼結体であって、さらに、少なくとも、ゲルマニウム(Ge)、タンタル(Ta)、及びガリウム(Ga)を成分として含有し、金属原子数比がSn/(Zn+Sn)が0.1以上0.3以下、Ge/(Zn+Sn+Ge+Ta+Ga)が0.0005以上0.01以下、Ta/(Zn+Sn+Ge+Ta+Ga)が0.0005以上0.01以下、Ga/(Zn+Sn+Ge+Ta+Ga)が0.001以上0.1以下であり、比抵抗が5Ω・cm以上12000Ω・cm以下、相対密度が94%以上である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)