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1. (WO2018207400) MTF測定装置およびMTF測定方法
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国際公開番号: WO/2018/207400 国際出願番号: PCT/JP2017/045891
国際公開日: 15.11.2018 国際出願日: 21.12.2017
IPC:
G01M 11/02 (2006.01) ,G01J 3/06 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
M
機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
11
光学装置の試験;他に分類されない光学的方法による構造物の試験
02
光学的特性の試験
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
02
細部
06
走査装置の構成
出願人:
三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310, JP
発明者:
太田 泰昭 OTA, Yasuaki; JP
代理人:
鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi; JP
中野 晴夫 NAKANO, Haruo; JP
優先権情報:
2017-09325509.05.2017JP
発明の名称: (EN) MTF MEASUREMENT DEVICE AND MTF MEASUREMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE MTF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MTF
(JA) MTF測定装置およびMTF測定方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide an MTF measurement device and MTF measurement method that make it possible to measure the MTF of an optical device for light of all wavelengths. An MTF measurement device (100) for measuring the MTF of an optical device has a test chart (105) having formed thereon a test pattern having a light blocking area and a light transmitting area, a light source (101) for irradiating light onto the test chart, a wavelength selection unit (102) for selecting the wavelength of the light emitted from the light source, and a calculation device (107) for calculating the MTF using the output signal of a converter (solid-state imaging element 10) for subjecting the light emitted from the test chart to photoelectric conversion. The wavelength selection unit (102) has a dispersion element (diffraction grating 108) for dispersing the light emitted from the light source (101) and extracting light of a specific wavelength and an adjustment mechanism (rotation mechanism 109) for changing the angle of incidence of the light incident on the dispersion element (diffraction grating 108).
(FR) L’invention a pour but de fournir un dispositif de mesure de MTF et un procédé de mesure de MTF qui permettent de mesurer la MTF d'un dispositif optique pour la lumière de toutes les longueurs d'onde. Un dispositif de mesure de MTF (100) pour mesurer la MTF d'un dispositif optique a une mire (105) sur laquelle est formé un motif de test ayant une zone de blocage de lumière et une zone de transmission de lumière, une source de lumière (101) pour irradier de la lumière sur la mire, une unité de sélection de longueur d'onde (102) pour sélectionner la longueur d'onde de la lumière émise par la source de lumière, et un dispositif de calcul (107) pour calculer la MTF à l'aide du signal de sortie d'un convertisseur (élément d'imagerie à semi-conducteurs 10) pour soumettre la lumière émise par la mire à une conversion photoélectrique. L'unité de sélection de longueur d'onde (102) a un élément de dispersion (réseau de diffraction 108) pour disperser la lumière émise par la source de lumière (101) et extraire la lumière d'une longueur d'onde spécifique et un mécanisme de réglage (mécanisme de rotation 109) pour modifier l'angle d'incidence de la lumière incidente sur l'élément de dispersion (réseau de diffraction 108).
(JA) 本発明は、あらゆる波長の光に対して光学デバイスのMTFを測定できるMTF測定装置およびMTF測定方法を提供することを目的とする。光学デバイスのMTFを測定するためのMTF測定装置(100)は、光非透過領域と光透過領域とを有するテストパターンが形成されたテストチャート(105)と、テストチャートに光を照射するための光源(101)と、光源から出射する光の波長を選択するための波長選択部(102)と、テストチャートから出射する光を光電変換する変換器(固体撮像素子10)の出力信号を用いてMTFを算出するための演算装置(107)とを備えている。波長選択部(102)は、光源(101)から出射する光を分光して特定波長の光を取り出すための分光素子(回折格子108)と、分光素子(回折格子108)に入射する光の入射角を変更するための調節機構(回転機構109)とを有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)