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1. (WO2018207356) 光走査装置

Pub. No.:    WO/2018/207356    International Application No.:    PCT/JP2017/018056
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 26/10
Applicants: OLYMPUS CORPORATION
オリンパス株式会社
Inventors: MIKI, Takehiro
三木 健寛
Title: 光走査装置
Abstract:
光走査装置(1)は、照明光学系(6)と、光源(4)から照明光学系(6)に入射する照明光を走査する走査部(5)と、照明光学系(6)から光軸に平行に射出された照明光を光軸に平行な方向に反射する反射部(7)と、反射部(7)によって反射された照明光を照明光学系(6)における照明光の光路を介して受光する受光部(8)と、照明光学系(6)の光軸に対して平行および垂直な方向における走査部(5)および照明光学系(6)の相対位置を調整する位置調整部(9)と、受光部(8)による受光量に基づいて位置調整部(9)を制御する制御部(10)とを備える。