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1. (WO2018207309) 試料ホルダ、電子顕微鏡
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国際公開番号: WO/2018/207309 国際出願番号: PCT/JP2017/017861
国際公開日: 15.11.2018 国際出願日: 11.05.2017
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
長久保 康平 NAGAKUBO Yasuhira; JP
矢口 紀恵 YAGUCHI Toshie; JP
代理人:
特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES; 東京都港区愛宕二丁目5-1 愛宕グリーンヒルズMORIタワー32階 Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SAMPLE HOLDER, ELECTRON MICROSCOPE
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON, MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
(JA) 試料ホルダ、電子顕微鏡
要約:
(EN) The objective of the present invention is to provide a technique allowing gas pressure at a sample position to be measured accurately when observing the sample surface and interior phenomena occurring in a gas space. In this sample holder, a sample holding unit and a pressure measuring element are disposed at different positions from each other in the interior of the sample holder. A first operation, wherein a gas is ejected toward the position wherein the sample holding unit holds the sample, and a second operation, wherein the gas is ejected toward the position wherein the pressure measuring element is disposed, are performed while the sample holding unit is holding the sample. (See Fig. 1A).
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir une technique permettant de mesurer avec précision la pression gazeuse au niveau d'une position d'échantillon, lors de l'observation de la surface de l'échantillon et de phénomènes internes se produisant dans un espace gazeux. Dans ce porte-échantillon, une unité de support d'échantillon et un élément de mesure de pression sont l'un et l'autre disposés à différentes positions à l'intérieur du porte-échantillon. Une première opération, consistant à éjecter un gaz vers la position dans laquelle un gaz est éjecté vers la position dans laquelle l'unité de support d'échantillon supporte l'échantillon, et une seconde opération, consistant à éjecter le gaz vers la position dans laquelle l'élément de mesure de pression est disposé, sont réalisées pendant que l'unité de support d'échantillon supporte l'échantillon. (Voir figure 1A).
(JA) 本発明は、ガス空間において発生する試料表面および内部の現象を観察する際に、試料位置におけるガス圧力を正確に測定することができる技術を提供することを目的とする。本発明に係る試料ホルダにおいて、試料保持部と圧力測定素子は前記試料ホルダの内部の互いに異なる位置に配置されており、前記試料保持部が前記試料を保持する位置に対してガスを噴出する第1動作と、前記圧力測定素子が配置されている位置に対して前記ガスを噴出する第2動作を、前記試料保持部が前記試料を保持している間に実施する。(図1A参照)。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)