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1. (WO2018206731) DISTANCE MEASURING ARRANGEMENT FOR DETERMINING A DISTANCE FROM AN OBJECT
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国際公開番号: WO/2018/206731 国際出願番号: PCT/EP2018/062150
国際公開日: 15.11.2018 国際出願日: 09.05.2018
IPC:
G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
9
このサブグループに記述され,かつ光学的測定手段の使用によって特徴づけられた計器
02
干渉計
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24
輪郭または曲率の測定用
出願人:
TAYLOR HOBSON LTD. [GB/GB]; P.O. Box 36 2 New Star Road Leicester LE4 9 JQ, GB
発明者:
AM WEG, Christian; DE
MAY, Thilo; DE
PETTER, Jürgen; DE
EISWIRT, Peter; DE
SHARMA, Sucheta; DE
代理人:
WEILNAU, Carsten; DE
優先権情報:
17170788.812.05.2017EP
発明の名称: (EN) DISTANCE MEASURING ARRANGEMENT FOR DETERMINING A DISTANCE FROM AN OBJECT
(FR) ASSEMBLAGE DE MESURE DE DISTANCE PRÉVU POUR DÉTERMINER UNE DISTANCE PAR RAPPORT À UN OBJET
(DE) ABSTANDSMESSANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG EINES ABSTANDES ZU EINEM OBJEKT
要約:
(EN) The present disclosure relates to a distance measuring arrangement for determining a distance from an object (20), wherein the distance measuring arrangement comprises the following: – at least one light source (12) for producing at least one first monochromatic and interference-capable light beam (12.1) with a first wavelength and for producing at least one second monochromatic and interference-capable light beam (12.2) with a second wavelength, – a multiplexer (14) for coupling or combining the at least first light beam (12.1) and the at least second light beam (12.2) into a common measurement beam (M), – an output coupling element (45) for splitting the measurement beam (M) into a reference beam (R) and into a signal beam (S), wherein the reference beam (R) propagates along a reference path (RP) and wherein the signal beam (S) propagates along a signal path (SP), – a phase modulator (60; 160), which is arranged in the signal path (SP) and which is configured to modulate the phase of the signal beam (S) in a time-periodic manner.
(FR) La présente publication concerne un assemblage de mesure de distance prévu pour déterminer une distance par rapport à un objet (20), l'assemblage de mesure de distance comprenant ce qui suit : - au moins une source lumineuse (12) prévue pour générer au moins un premier faisceau lumineux (12.1) monochromatique et apte aux interférences d'une première longueur d'onde et pour générer au moins un deuxième faisceau lumineux (12.2) monochromatique et apte aux interférences d'une deuxième longueur d'onde, - un multiplexeur (14) prévu pour coupler ou combiner au moins le premier faisceau lumineux (12.1) avec au moins le deuxième faisceau lumineux (12.2) en un faisceau de mesure commun (M), - un élément de découplage (45) prévu pour diviser le faisceau de mesure (M) en un faisceau de référence (R) et en un faisceau de signal (S), le faisceau de référence (R) se propageant suivant un trajet de référence (RP) et le faisceau de signal (S) se propageant suivant un trajet de signal (SP), - un modulateur de phase (60 ; 160) qui est agencé dans le trajet de signal (SP) et qui est conçu pour moduler la phase du faisceau de signal (S) de manière périodique.
(DE) Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Abstandsmessanordnung zur Bestimmung eines Abstandes zu einem Objekt (20), wobei die Abstandsmessanordnung folgendes umfasst: - zumindest eine Lichtquelle (12) zur Erzeugung zumindest eines ersten monochromatischen und interferenzfähigen Lichtstrahls (12.1) einer ersten Wellenlänge und zur Erzeugung zumindest eines zweiten monochromatischen und interferenzfähigen Lichtstrahls (12.2) einer zweiten Wellenlänge, - einen Multiplexer(14) zum Koppeln oder Kombinieren des zumindest ersten Lichtstrahls (12.1) und des zumindest zweiten Lichtstrahls (12.2) in einen gemeinsamen Messstrahl (M), - einem Auskoppelelement (45) zum Aufteilen des Messstrahls (M) in einen Referenzstrahl (R) und in einen Signalstrahl (S), wobei der Referenzstrahl (R) entlang eines Referenzpfads (RP) und wobei der Signalstrahl (S) entlang eines Signalpfads (SP) propagiert, - einen Phasenmodulator (60; 160), welcher im Signalpfad (SP) angeordnet ist und welcher dazu ausgestaltet ist, die Phase des Signalstrahls (S) zeitlich periodisch zu modulieren.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: ドイツ語 (DE)
国際出願言語: ドイツ語 (DE)