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1. (WO2018203454) 石英ガラスルツボ及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/203454    International Application No.:    PCT/JP2018/014047
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: C30B 29/06
C03B 20/00
C30B 15/10
Applicants: SUMCO CORPORATION
株式会社SUMCO
Inventors: KISHI Hiroshi
岸 弘史
HASEBE Kouta
長谷部 幸太
ABE Takahiro
安部 貴裕
FUJIWARA Hideki
藤原 秀樹
KITAHARA Eriko
北原 江梨子
Title: 石英ガラスルツボ及びその製造方法
Abstract:
【課題】マルチ引き上げなどの非常に長時間の単結晶引き上げ工程に耐えることができる石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】石英ガラスルツボ1は、石英ガラスからなる有底円筒状のルツボ本体10と、チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の引き上げ工程中の加熱によってルツボ本体10の表面近傍に結晶化促進剤濃縮層が形成されるように前記ルツボ本体10の表面に形成された結晶化促進剤含有塗布膜13A,13Bとを備えている。