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1. (WO2018203430) 弾性波素子およびその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/203430    International Application No.:    PCT/JP2018/005882
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Feb 21 00:59:59 CET 2018
IPC: H03H 9/25
H03H 3/08
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: TAI Tomoyoshi
多井 知義
NAMERIKAWA Masahiko
滑川 政彦
YOSHINO Takashi
吉野 隆史
Title: 弾性波素子およびその製造方法
Abstract:
【課題】圧電性材料基板と支持基板とを接合層を介して接合する弾性波素子において、弾性波の伝搬損失および周波数の温度特性を一層改善できる構造の弾性波素子を提供する。 【解決手段】弾性波素子は、圧電性材料基板2A、圧電性材料基板2A上の電極4、支持基板3、および圧電性材料基板2Aと支持基板3とを接合する接合層1Aを備える。接合層1Aが水晶からなる。