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1. (WO2018203384) 基板収納容器
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国際公開番号: WO/2018/203384 国際出願番号: PCT/JP2017/017244
国際公開日: 08.11.2018 国際出願日: 02.05.2017
予備審査請求日: 07.12.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
D
物品または材料の保管または輸送用の容器,例.袋,樽,瓶,箱,缶,カートン,クレート,ドラム缶,つぼ,タンク,ホッパー,運送コンテナ;付属品,閉蓋具,またはその取付け;包装要素;包装体
85
特定の物品または材料に特に適合する容器,包装要素または包装体
86
電気部品用
出願人:
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
発明者:
松鳥 千明 MATSUTORI, Chiaki; JP
代理人:
正林 真之 SHOBAYASHI, Masayuki; JP
林 一好 HAYASHI, Kazuyoshi; JP
岩池 満 IWAIKE, Mitsuru; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約:
(EN) This substrate storage container is provided with: a container body 2; a lid body which can be attached to and detached from an opening portion of the container body and which can close the opening portion of the container body; a gas flow path 210 which can connect a substrate storage space 27 and a space outside the container body 2; and a gas jetting nozzle part 8 having a plurality of opening portions 802 through which a gas having flowed in the gas flow path 210 is supplied to the substrate storage space 27, wherein a gas-flow-rate uniformizing unit that allows outflow of the gas from the plurality of opening portions 802 at a uniformized flow rate, is included.
(FR) L'invention concerne un récipient de stockage de substrat comprenant : un corps de récipient 2; un corps de couvercle qui peut être fixé à une partie d'ouverture du corps de récipient et détaché de celle-ci et qui peut fermer la partie d'ouverture du corps de récipient; un trajet d'écoulement de gaz 210 qui peut relier un espace de stockage de substrat 27 et un espace à l'extérieur du corps de récipient 2; et une partie de buse d'éjection de gaz 8 ayant une pluralité de parties d'ouverture 802 à travers lesquelles un gaz ayant circulé dans le trajet d'écoulement de gaz 210 est fourni à l'espace de stockage de substrat 27, une unité d'uniformisation de débit de gaz qui permet l'écoulement du gaz à partir de la pluralité de parties d'ouverture 802 à un débit uniformisé est incluse.
(JA) 基板収納容器は、容器本体2と、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、基板収納空間27と容器本体2の外部の空間とを連通可能な通気路210と、通気路210に流入した気体を基板収納空間27に供給する複数の開口部802を有する気体噴出ノズル部8と、を備え、複数の開口部802から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部を有する基板収納容器である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)