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1. (WO2018199258) 電極、構造体およびその製造方法、接続構造体、並びに、その電極を用いた素子

Pub. No.:    WO/2018/199258    International Application No.:    PCT/JP2018/017058
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018
IPC: H05B 33/26
C22C 23/00
H01L 21/28
H01L 29/417
H01L 29/786
H01L 51/05
H01L 51/44
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
国立大学法人九州大学
Inventors: NAKANOTANI Hajime
中野谷 一
SHIOCHI Masayuki
塩地 雅之
ARAI Hiroya
新井 啓矢
ADACHI Chihaya
安達 千波矢
Title: 電極、構造体およびその製造方法、接続構造体、並びに、その電極を用いた素子
Abstract:
MgCa(X)nで表される合金を有する電極。nは0または1を表す。nが0であるとき、Caの含有量が5~30原子%である。nが1であるとき、XはAg、Al、Cr、Cu、ZnおよびLiから選択される1以上の原子を表し、Mgの含有量が50~95原子%であり、Caの含有量が1~50原子%であり、Agの含有量が0.1~30原子%である。この発明によれば、仕事関数が低く、半導体層に対してオーミック接触させることができ、さらに、高いリソグラフィー適性を有し、耐候性およびバリア性に優れた電極を実現しうる。